Sûseptorê bermîlê ji bo epîtaksiya qonaxa şil LPE
EPI (Epitaxy)pêvajoyek krîtîk e di çêkirina nîvconduktorên pêşkeftî de. Ew bi vekirina qatên zirav ên materyalê li ser substratek vedihewîne da ku strukturên cîhaza tevlihev biafirîne. Bermîla bermîla grafîtê ya pêçandî ya SiC ji bo EPI-yê bi gelemperî di reaktorên EPI-yê de wekî susceptor têne bikar anîn ji ber ku guheztina wan a germî û berxwedana wan a li hember germahiya bilind. BiÇêkirina CVD-SiC, li hember gemarî, erozyon û şoka termal berxwedêrtir dibe. Ev dibe sedema jiyanek dirêjtir ji bo susceptor û baştirkirina kalîteya fîlimê.
Avantajên susceptorê meya bermîlê ji bo epitaxy LPE ya qonaxa şil:
Tehlûkeya Kêmkirî:Xwezaya bêserûber a SiC rê nade ku nepaqijiyan bi rûbera susceptorê ve girêbide, xetera pîsbûna fîlimên depokirî kêm dike.
Zêdebûna Berxwedana Erozyonê:SiC ji grafîta kevneşopî li hember erozyonê bi girîngî berxwedêrtir e, ku dibe sedema jiyanek dirêjtir a susceptor.
Stabiliya germî ya çêtir:SiC xwedan guheztina germî ya hêja ye û dikare li germahiyên bilind bêyî guheztinek girîng bisekine.
Qalîteya Fîlmê ya Pêşkeftî:Baştirbûna îstîqrara germî û kêmbûna gemarî di encamê de fîlimên depokirî yên bi kalîte bilindtir bi yekrengî û kontrolkirina qalindiyê çêtir dibe.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd pargîdaniyek teknolojîya bilind e ku balê dikişîne ser hilberandin û firotana materyalên pêşkeftî yên pêşkeftî, materyal û teknolojiyê di nav de grafît, karbîd silicon, seramîk, dermankirina rûberê mîna pêlavkirina SiC, cil û bergên TaC, karbonê camî. xêzkirin, pêlava karbonê ya pirolîtîk, hwd., Van hilberan bi berfirehî di fotovoltaîk, nîvconductor, enerjiya nû, metalurjî, hwd de têne bikar anîn.
Tîma meya teknîkî ji saziyên lêkolînê yên navxwe yên bilind tê, û gelek teknolojiyên patented pêşve xistine da ku performansa hilber û kalîteyê peyda bikin, di heman demê de dikarin xerîdar çareseriyên materyalê yên profesyonel peyda bikin.
Em bi dilgermî pêşwaziya we dikin ku hûn ji bo nîqaş û hevkariyên teknîkî biçin laboratuar û nebatê me!