소결실리콘 카바이드(SiC)결정/웨이퍼 보트반도체 및 마이크로 전자 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고온 처리 중에 실리콘 결정과 웨이퍼를 처리하기 위한 안전한 플랫폼을 제공하여 무결성과 순도가 전체적으로 유지되도록 보장합니다.
주요 특징
- 뛰어난 열 안정성: 최대 1600°C까지 견딜 수 있어 정밀한 열 제어가 필요한 공정에 적합합니다.
- 우수한 내화학성: 대부분의 부식성 화학물질 및 가스에 대한 저항력이 있어 혹독한 가공 환경에서도 내구성을 제공합니다.
- 견고한 기계적 강도: 높은 응력 하에서도 구조적 완전성을 유지하여 변형이나 파손 가능성을 줄입니다.
- 최소 열팽창: 열충격 및 균열 위험을 최소화하도록 설계되어 장시간 사용에도 안정적인 성능을 제공합니다.
- 정밀가공: 특정 공정 요구 사항을 충족하고 다양한 크리스탈 및 웨이퍼 크기를 수용할 수 있도록 높은 정밀도로 제작되었습니다.
응용
• 반도체 웨이퍼 가공
• LED 제조
• 태양광전지 생산
• 화학기상증착(CVD) 시스템
• 재료 과학 연구 및 개발
| 烧结碳化硅물리특성 물리적 특성S개입하다S일리콘C중재하다 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 화과학성분 / 화학적인구성 | SiC>95%, Si<5% |
| 体积크기 / 벌크 밀도 | >3.07g/cm³ |
| 显气孔率/ 겉보기 다공성 겉보기 다공성 | <0.1% |
| 常温抗弯强degree/ 20℃에서의 파단계수 | 270MPa |
| 고온발효도/ 1200℃에서의 파단계수 | 290MPa |
| 정도/ 20℃에서의 경도 | 2400kg/mm² |
| 断裂韧性/ 파괴인성 20% | 3.3MPa·m1/2 |
| 导熭系数/ 1200℃에서의 열전도율 | 45w/m .K |
| 热膨胀系数/ 20-1200℃에서의 열팽창 | 4.51×10-6/℃ |
| 最高工작업온도/ 최대 작동 온도 | 1400℃ |
| 발열정정성/ 1200℃에서의 열충격 저항 | 좋은 |
소결 실리콘 카바이드(SiC) 크리스탈/웨이퍼 보트를 선택하는 이유는 무엇입니까?
SiC 크리스탈/웨이퍼 보트를 선택한다는 것은 신뢰성, 효율성 및 수명을 선택한다는 의미입니다. 각 보트는 업계 최고 수준을 충족하는지 확인하기 위해 엄격한 품질 관리 조치를 거칩니다. 이 제품은 제조 공정의 안전성과 생산성을 향상시킬 뿐만 아니라 실리콘 결정과 웨이퍼의 일관된 품질을 보장합니다. SiC 크리스탈/웨이퍼 보트를 사용하면 운영 우수성을 지원하는 솔루션을 신뢰할 수 있습니다.
