반도체용 Graphite 기판에 SiC 코팅 코팅,실리콘 카바이드 코팅,MOCVD 서셉터,
MOCVD 서셉터, 반도체용 Graphite 기판에 SiC 코팅 코팅, 실리콘 카바이드 코팅,
반도체 응용 분야용 흑연 기판의 SiC 코팅은 순도가 뛰어나고 산화 분위기에 대한 저항성이 뛰어난 부품을 생산합니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC는 단순하거나 복잡한 디자인 부품의 Graphite에 적용됩니다.코팅은 다양한 두께와 매우 큰 부품에 적용될 수 있습니다.
특징:
· 우수한 열충격 저항
· 우수한 물리적 충격 저항
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태의 가용성
· 산화 분위기에서 사용 가능
기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항력: | 11μΩm |
| 굴곡 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 해안 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열 전도성: | 116W/mK(100kcal/mhr-℃) |
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