RTP/RTA용 SiC 코팅 캐리어는 급속 열 처리 및 어닐링이라는 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 구성 요소입니다. 당사는 특허 기술을 사용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성 및 뛰어난 서비스 수명을 갖춘 탄화 규소 캐리어를 만듭니다. 높은 내화학성 및 열 안정성 특성도 갖추고 있습니다.
우리 제품의 특징:
1. 최대 1700℃의 고온 내산화성.
2. 고순도 및 열균일성
3. 우수한 내식성 : 산, 알칼리, 염분 및 유기 시약.
4. 높은 경도, 조밀한 표면, 미세 입자.
5. 수명이 길어지고 내구성이 향상됩니다.
| CVD SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅 | |
| 성별 / 재산 | 典型数值 / 대표값 |
| 晶体结构 / 결정구조 | FCC β상多晶，主要为（111) 取向 |
| 크기 / 밀도 | 3.21g/cm³ |
| 정도 / 경도 | 2500 维氏硬도(500g 부하) |
| 晶粒大小 / 입자 크기 | 2~10μm |
| 정도 / 화학적 순도 | 99.99995% |
| 발열 / 열용량 | 640J·kg-1·케이-1 |
| 升华温도 / 승화온도 | 2700℃ |
| 抗弯强島 / 굴곡강도 | 415MPa RT 4점 |
| 杨氏模량 / 영률 | 430 Gpa 4pt 벤드, 1300℃ |
| 导熭系数 / 써마엘전도도 | 300W·m-1·케이-1 |
| 热膨胀系数 / 열팽창(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등과 같은 다양한 코팅을 갖춘 맞춤형 흑연 및 탄화 규소 제품의 실제 제조업체로 반도체 및 광전지 산업을 위한 다양한 맞춤형 부품을 공급할 수 있습니다.
우리 기술팀은 국내 최고의 연구 기관에서 왔으며 보다 전문적인 재료 솔루션을 제공할 수 있습니다.
우리는 보다 진보된 소재를 제공하기 위해 지속적으로 진보된 프로세스를 개발하고 있으며, 코팅과 기판 사이의 결합을 더 단단하게 만들고 분리 가능성을 줄일 수 있는 독점적인 특허 기술을 개발했습니다.
우리 공장 방문을 따뜻하게 환영합니다. 추가 논의를 합시다!
