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잘 운영되는 도구, 수익 창출 전문가, 훨씬 더 나은 애프터 서비스 제품 및 서비스 우리는 또한 통일된 주요 배우자와 자녀였으며, 모든 사람은 회사 이익에 대한 "통일, 헌신, 관용"을 고수했습니다.중국 내화물 세라믹 및 세라믹 가마, 좀 더 완벽한 서비스와 안정적인 품질의 품목에 대한 특정 개인 고객의 요구 사항을 충족합니다. 우리는 다방면의 협력을 통해 전 세계 고객이 우리를 방문하는 것을 따뜻하게 환영하며 공동으로 새로운 시장을 개발하고 빛나는 미래를 창조합니다!
SiC 코팅/반도체용 흑연 기판 코팅 서셉터는 열처리 중에 반도체 웨이퍼를 고정하고 가열합니다. 서셉터는 유도, 전도, 복사 등에 의해 에너지를 흡수하여 웨이퍼를 가열하는 물질로 만들어진다. 열 충격 저항, 열 전도성 및 순도는 급속 열 처리(RTP)에 매우 중요합니다. 실리콘 카바이드 코팅 흑연, 실리콘 카바이드(SiC) 및 실리콘(Si)은 특정 열 및 화학적 환경에 따라 서셉터로 일반적으로 사용됩니다. PureSiC® CVD SiC 및 ClearCarbon™ 초순수 소재는 뛰어난 열 안정성, 내식성 및 내구성을 제공합니다. 제품 설명
반도체 응용 분야용 흑연 기판의 SiC 코팅은 순도가 뛰어나고 산화 분위기에 대한 저항성이 뛰어난 부품을 생산합니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC는 단순하거나 복잡한 디자인 부품의 Graphite에 적용됩니다. 코팅은 다양한 두께와 매우 큰 부품에 적용될 수 있습니다.
테크니컬 세라믹은 RTP(급속 열 처리), Epi(에피택시얼), 확산, 산화 및 어닐링을 포함한 반도체 열 처리 응용 분야를 위한 자연스러운 선택입니다. CoorsTek은 고온 환경에서 고순도, 견고하고 반복 가능한 성능으로 열충격을 견딜 수 있도록 특별히 설계된 고급 소재 구성 요소를 제공합니다.
특징:
· 우수한 열충격 저항
· 우수한 물리적 충격 저항
· 우수한 내화학성
· 초고순도
· 복잡한 형태의 가용성
· 산화 분위기에서 사용 가능
애플리케이션:
웨이퍼는 전자 장치에 사용할 준비가 되기 전에 여러 단계를 거쳐야 합니다. 중요한 공정 중 하나는 웨이퍼가 흑연 서셉터 위에 운반되는 실리콘 에피택시입니다. 서셉터의 특성과 품질은 웨이퍼 에피택셜 층의 품질에 중요한 영향을 미칩니다.
기본 흑연 재료의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85g/cm3 |
| 전기 저항력: | 11μΩm |
| 굴곡 강도: | 49MPa(500kgf/cm2) |
| 해안 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116W/mK(100kcal/mhr-℃) |
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