애플리케이션
흑연 보트는 고온 확산 공정에서 웨이퍼 홀더로 널리 사용됩니다.
기능 요구사항
1 | 고온 강도 |
2 | 고온 화학적 안정성 |
3 | 파티클 문제 없음 |
설명
1. 장기간 프로세스 동안 "콜로 렌즈"가 없는지 확인하기 위해 "컬러 렌즈" 기술을 제거하기 위해 채택되었습니다.
2. 고순도, 낮은 불순물 함량 및 고강도를 지닌 SGL 수입 흑연 재료로 제작되었습니다.
3. 세라믹 조립체에 99.9% 세라믹을 사용하여 강력한 내식성과 내마모성을 제공합니다.
4. 정밀 가공 장비를 사용하여 각 부품의 정확성을 보장합니다.
VET Energy가 다른 회사보다 나은 이유:
1. 다양한 사양으로 제공되며 맞춤형 서비스도 제공합니다.
2. 고품질과 빠른 납품.
3. 고온 저항.
4. 높은 비용 대비 성능과 경쟁력
5. 긴 수명