제품 특징
· 훌륭한 고온 성능
PyC 코팅은 치밀한 구조, 우수한 내열성, 우수한 열 전도성 및 내마모성을 특징으로 합니다. 둘 다 탄소 원소이므로 흑연과의 접착력이 강하고 흑연 내부에 잔류하는 휘발물질을 밀봉하여 탄소 입자로 인한 오염을 방지할 수 있습니다.
· 제어 가능 청정
PyC 코팅의 순도는 5ppm 수준에 도달하여 고순도 접합의 순도 요구 사항을 충족합니다.
· 펼친 서비스 삶 그리고 개선됨 제품 q품질
PyC 코팅은 흑연 부품의 수명을 효과적으로 연장하고 제품 품질을 향상시켜 고객의 생산 비용을 효과적으로 절감할 수 있습니다.
·넓은 범위 of 애플리케이션
PyC 코팅은 주로 Si/SiC 반도체 결정 성장, 이온 주입, 반도체 금속 제련, 기기 분석 등 고온 분야에 사용됩니다.
제품 명세서
일반적인 성능 | 단위 | 사양 |
결정 구조 | 육각형 | |
조정 | 0001 방향을 따라 지향되거나 지향되지 않음 | |
벌크 밀도 | g/cm3 | -2.24 |
미세구조 | 다결정/다층 그래핀 | |
경도 | 평점 | 1.1 |
탄성률 | 평점 | 10 |
일반적인 두께 | μm | 30-100 |
표면 거칠기 | μm | 1.5 |
제품 순도 | ppm | 5ppm 이하 |