고급SiC 캔틸레버 패들Vet-China가 만든 for Wafer Process는 반도체 제조를 위한 탁월한 솔루션을 제공합니다. 이 캔틸레버 패들은 SiC(실리콘 카바이드) 소재로 제작되었으며, 높은 경도와 내열성으로 인해 고온 및 부식 환경에서도 우수한 성능을 유지할 수 있습니다. 캔틸레버 패들의 설계를 통해 처리 중에 웨이퍼를 안정적으로 지지할 수 있어 조각화 및 손상 위험이 줄어듭니다.
SiC 캔틸레버 패들산화로, 확산로, 어닐링로 등 반도체 제조 장비에 사용되는 특수 부품으로, 주로 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 고온 공정 시 웨이퍼 지지 및 이송에 사용됩니다.
일반적인 구조~의SiCc안틸레버p썩다: 한쪽 끝은 고정되고 다른 쪽 끝은 자유로운 캔틸레버 구조는 일반적으로 평평하고 패들 모양의 디자인을 갖습니다.
VET Energy는 품질을 보장하기 위해 고순도 재결정 탄화 규소 재료를 사용합니다.
| 재결정화된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70g/cm23 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90MPa(20°C) |
| 뜨거운 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23W/m•K |
| 탄성률 | 240GPa |
| 열충격 저항 | 매우 좋음 |
웨이퍼 처리를 위한 VET Energy의 고급 SiC 캔틸레버 패들의 장점은 다음과 같습니다.
-고온 안정성: 1600°C 이상의 환경에서 사용 가능;
-낮은 열팽창 계수: 치수 안정성을 유지하여 웨이퍼 변형 위험을 줄입니다.
- 고순도: 금속 오염 위험이 낮습니다.
-화학적 불활성: 부식 방지, 다양한 가스 환경에 적합;
- 고강도 및 경도 : 내마모성, 긴 수명;
-좋은 열전도율: 균일한 웨이퍼 가열에 도움이 됩니다.
