ដំបូងយើងត្រូវដឹងPECVD(ការបន្សុតចំហាយគីមីដែលធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវប្លាស្មា)។ ប្លាស្មាគឺជាការកើនឡើងនៃចលនាកម្ដៅនៃម៉ូលេគុលសម្ភារៈ។ ការប៉ះទង្គិចគ្នារវាងពួកវានឹងបណ្តាលឱ្យម៉ូលេគុលឧស្ម័នត្រូវបាន ionized ហើយវត្ថុធាតុនឹងក្លាយទៅជាល្បាយនៃអ៊ីយ៉ុងវិជ្ជមានដែលផ្លាស់ទីដោយសេរី អេឡិចត្រុង និងភាគល្អិតអព្យាក្រឹតដែលមានអន្តរកម្មគ្នាទៅវិញទៅមក។
វាត្រូវបានគេប៉ាន់ប្រមាណថាអត្រាបាត់បង់ការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃពន្លឺនៅលើផ្ទៃស៊ីលីកុនគឺខ្ពស់ប្រហែល 35% ។ ខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងការឆ្លុះបញ្ចាំងអាចធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងនូវអត្រាប្រើប្រាស់នៃពន្លឺព្រះអាទិត្យដោយកោសិកាថ្ម ដែលជួយបង្កើនដង់ស៊ីតេបច្ចុប្បន្នដែលបង្កើតដោយរូបថត ហើយដូច្នេះបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែង។ ក្នុងពេលជាមួយគ្នានេះ អ៊ីដ្រូសែននៅក្នុងខ្សែភាពយន្តឆ្លងកាត់ផ្ទៃនៃកោសិកាថ្ម កាត់បន្ថយអត្រានៃការផ្សំឡើងវិញលើផ្ទៃនៃប្រសព្វ emitter កាត់បន្ថយចរន្តងងឹត បង្កើនវ៉ុលសៀគ្វីបើកចំហ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែង photoelectric ។ ការ annealing ភ្លាមៗដោយសីតុណ្ហភាពខ្ពស់នៅក្នុងដំណើរការដុតបំផ្លាញបានបំបែកចំណង Si-H និង NH មួយចំនួន ហើយ H ដែលត្រូវបានដោះលែងបន្ថែមពង្រឹងការឆ្លងនៃថ្ម។
ចាប់តាំងពីសមា្ភារៈស៊ីលីកូនថ្នាក់ទី photovoltaic ជៀសមិនរួចមានបរិមាណមិនបរិសុទ្ធ និងពិការភាព អាយុកាលនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនភាគតិច និងប្រវែងនៃការសាយភាយនៅក្នុងស៊ីលីកូនត្រូវបានកាត់បន្ថយ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការថយចុះនៃប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែងថ្ម។ H អាចប្រតិកម្មជាមួយនឹងពិការភាព ឬភាពមិនបរិសុទ្ធនៅក្នុងស៊ីលីកុន ដោយហេតុនេះការផ្ទេរក្រុមថាមពលនៅក្នុង bandgap ចូលទៅក្នុងក្រុម valence ឬក្រុម conduction ។
1. គោលការណ៍ PECVD
ប្រព័ន្ធ PECVD គឺជាស៊េរីនៃម៉ាស៊ីនភ្លើងដែលប្រើទូកក្រាហ្វិច PECVD និងឧបករណ៍រំញោចប្លាស្មាប្រេកង់ខ្ពស់។ ម៉ាស៊ីនភ្លើងប្លាស្មាត្រូវបានដំឡើងដោយផ្ទាល់នៅចំកណ្តាលបន្ទះថ្នាំកូតដើម្បីធ្វើប្រតិកម្មនៅក្រោមសម្ពាធទាបនិងសីតុណ្ហភាពកើនឡើង។ ឧស្ម័នសកម្មដែលប្រើគឺ silane SiH4 និងអាម៉ូញាក់ NH3 ។ ឧស្ម័នទាំងនេះធ្វើសកម្មភាពនៅលើស៊ីលីកុននីត្រាតដែលផ្ទុកនៅលើស៊ីលីកុន wafer ។ សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរផ្សេងគ្នាអាចទទួលបានដោយការផ្លាស់ប្តូរសមាមាត្រនៃ silane ទៅអាម៉ូញាក់។ កំឡុងពេលដំណើរការបន្ទោរបង់ បរិមាណដ៏ច្រើននៃអាតូមអ៊ីដ្រូសែន និងអ៊ីយ៉ុងអ៊ីដ្រូសែនត្រូវបានបង្កើត ដែលធ្វើឱ្យអសកម្មអ៊ីដ្រូសែននៃ wafer ល្អណាស់។ នៅក្នុងកន្លែងទំនេរ និងសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញ 480 អង្សាសេ ស្រទាប់ SixNy ត្រូវបានស្រោបលើផ្ទៃនៃ wafer ស៊ីលីកុន ដោយដំណើរការទូកក្រាហ្វិច PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
ពណ៌នៃខ្សែភាពយន្ត Si3N4 ផ្លាស់ប្តូរជាមួយនឹងកម្រាស់របស់វា។ ជាទូទៅកម្រាស់ដ៏ល្អគឺស្ថិតនៅចន្លោះពី 75 ទៅ 80 nm ដែលមើលទៅដូចជាពណ៌ខៀវងងឹត។ សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរនៃខ្សែភាពយន្ត Si3N4 គឺល្អបំផុតរវាង 2.0 និង 2.5 ។ ជាតិអាល់កុលជាធម្មតាត្រូវបានប្រើដើម្បីវាស់សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែររបស់វា។
ឥទ្ធិពលអកម្មលើផ្ទៃល្អឥតខ្ចោះ ប្រសិទ្ធភាពប្រឆាំងការឆ្លុះបញ្ចាំងអុបទិកប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព (ការផ្គូផ្គងសន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរនៃកម្រាស់) ដំណើរការសីតុណ្ហភាពទាប (កាត់បន្ថយការចំណាយយ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាព) និងអ៊ីយ៉ុង H ដែលបង្កើតបានឆ្លងកាត់ផ្ទៃ wafer ស៊ីលីកុន។
3. បញ្ហាទូទៅនៅក្នុងសិក្ខាសាលាថ្នាំកូត
កម្រាស់ខ្សែភាពយន្ត:
ពេលវេលានៃការទម្លាក់គឺខុសគ្នាសម្រាប់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តផ្សេងៗគ្នា។ ពេលវេលានៃការបន្ទោរបង់គួរត្រូវបានបង្កើន ឬបន្ថយសមស្របទៅតាមពណ៌នៃថ្នាំកូត។ ប្រសិនបើខ្សែភាពយន្តមានពណ៌ស ពេលវេលានៃការដាក់ចេញគួរតែត្រូវបានកាត់បន្ថយ។ បើមានពណ៌ក្រហម គួរបង្កើនឱ្យបានសមរម្យ ។ ទូកនីមួយៗនៃខ្សែភាពយន្តគួរតែត្រូវបានបញ្ជាក់យ៉ាងពេញលេញ ហើយផលិតផលដែលមានបញ្ហាមិនត្រូវបានអនុញ្ញាតឱ្យហូរចូលទៅក្នុងដំណើរការបន្ទាប់ទេ។ ឧទាហរណ៍ ប្រសិនបើថ្នាំកូតខ្សោយ ដូចជាចំណុចពណ៌ និងស្នាមទឹក ការធ្វើឱ្យផ្ទៃពណ៌ស ភាពខុសគ្នានៃពណ៌ និងចំណុចពណ៌សនៅលើខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្ម គួរតែត្រូវបានជ្រើសរើសឱ្យទាន់ពេលវេលា។ ការធ្វើឱ្យសលើផ្ទៃត្រូវបានបង្កឡើងជាចម្បងដោយខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននីត្រាតក្រាស់ដែលអាចត្រូវបានកែតម្រូវដោយការកែតម្រូវពេលវេលានៃការដាក់ខ្សែភាពយន្ត។ ខ្សែភាពយន្តភាពខុសគ្នានៃពណ៌គឺបណ្តាលមកពីការស្ទះផ្លូវឧស្ម័ន ការលេចធ្លាយបំពង់រ៉ែថ្មខៀវ ការបរាជ័យក្នុងមីក្រូវ៉េវ។ល។ ចំណុចពណ៌សគឺបណ្តាលមកពីចំណុចខ្មៅតូចៗនៅក្នុងដំណើរការមុន។ ការត្រួតពិនិត្យការឆ្លុះបញ្ចាំង សន្ទស្សន៍ចំណាំងបែរ ជាដើម។ សុវត្ថិភាពនៃឧស្ម័នពិសេស។ល។
ចំណុចពណ៌សនៅលើផ្ទៃ:
PECVD គឺជាដំណើរការដ៏សំខាន់មួយនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ និងជាសូចនាករសំខាន់នៃប្រសិទ្ធភាពនៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យរបស់ក្រុមហ៊ុន។ ដំណើរការ PECVD ជាទូទៅរវល់ ហើយកោសិកានីមួយៗត្រូវត្រួតពិនិត្យ។ មានបំពង់ furnace ជាច្រើន ហើយបំពង់នីមួយៗជាទូទៅមានកោសិការាប់រយ (អាស្រ័យលើឧបករណ៍)។ បន្ទាប់ពីផ្លាស់ប្តូរប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ វដ្តផ្ទៀងផ្ទាត់មានរយៈពេលវែង។ បច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតគឺជាបច្ចេកវិទ្យាដែលឧស្សាហកម្ម photovoltaic ទាំងមូលយកចិត្តទុកដាក់យ៉ាងខ្លាំងចំពោះ។ ប្រសិទ្ធភាពនៃកោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យអាចត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងដោយការធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវបច្ចេកវិទ្យាស្រោប។ នៅពេលអនាគត បច្ចេកវិជ្ជាលើផ្ទៃក្រឡាសូឡាអាចក្លាយជារបកគំហើញនៃប្រសិទ្ធភាពទ្រឹស្តីនៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី២៣ ខែធ្នូ ឆ្នាំ២០២៤