1. ការទទួលស្គាល់មុនពេលសម្អាត
1) នៅពេលដែលទូកក្រាហ្វិច PECVD/ អ្នកដឹកជញ្ជូនត្រូវបានប្រើលើសពី 100 ទៅ 150 ដង ប្រតិបត្តិករត្រូវពិនិត្យមើលស្ថានភាពថ្នាំកូតឱ្យទាន់ពេលវេលា។ ប្រសិនបើមានថ្នាំកូតមិនប្រក្រតីវាចាំបាច់ត្រូវសម្អាតនិងបញ្ជាក់។ ពណ៌ថ្នាំកូតធម្មតានៃ wafer ស៊ីលីកុននៅក្នុងទូក/នាវាក្រាហ្វីតគឺពណ៌ខៀវ។ ប្រសិនបើ wafer មិនមានពណ៌ខៀវ ពណ៌ច្រើន ឬភាពខុសគ្នានៃពណ៌រវាង wafers មានទំហំធំ វាគឺជាថ្នាំកូតដែលមិនប្រក្រតី ហើយមូលហេតុនៃការមិនប្រក្រតីនេះចាំបាច់ត្រូវបញ្ជាក់ឱ្យទាន់ពេលវេលា។
2) បន្ទាប់ពីដំណើរការបុគ្គលិកធ្វើការវិភាគស្ថានភាពនៃថ្នាំកូតទូកក្រាហ្វិច PECVD/ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន ពួកគេនឹងកំណត់ថាតើទូកក្រាហ្វិចត្រូវការសម្អាត ហើយថាតើត្រូវប្តូរចំណុចកាតឬអត់ ហើយទូក/ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនក្រាហ្វីតដែលត្រូវការសម្អាតនឹងត្រូវប្រគល់ឱ្យបុគ្គលិកឧបករណ៍សម្រាប់សម្អាត។
3) បន្ទាប់ពីទូកក្រាហ្វិច/ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនត្រូវបានខូចខាត បុគ្គលិកផលិតកម្មនឹងយកស៊ីលីកុន wafers ទាំងអស់នៅក្នុង graphite boat ហើយប្រើ CDA (compressed air) ដើម្បីតម្រៀបបំណែកនៅក្នុងទូកក្រាហ្វិច. បន្ទាប់ពីបញ្ចប់ បុគ្គលិកឧបករណ៍នឹងលើកវាចូលទៅក្នុងធុងទឹកអាស៊ីតដែលត្រូវបានរៀបចំជាមួយនឹងសមាមាត្រជាក់លាក់នៃដំណោះស្រាយ HF សម្រាប់សម្អាត។
2. ការសម្អាតទូកក្រាហ្វិច
វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យប្រើដំណោះស្រាយទឹកអាស៊ីត hydrofluoric 15-25% សម្រាប់ការលាងសំអាតបីជុំ, គ្នាសម្រាប់ 4-5 ម៉ោង, និង bubbing អាសូតជាទៀងទាត់ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការត្រាំនិងសម្អាតបន្ថែមប្រហែលកន្លះម៉ោងនៃការលាងសំអាត; ចំណាំ៖ វាមិនត្រូវបានណែនាំឱ្យប្រើខ្យល់ដោយផ្ទាល់ជាប្រភពឧស្ម័នសម្រាប់ពពុះទេ។ បន្ទាប់ពីរើសរួចលាងទឹកស្អាតប្រហែល ១០ ម៉ោង ហើយបញ្ជាក់ថាទូកត្រូវបានសម្អាតយ៉ាងហ្មត់ចត់។ បន្ទាប់ពីសម្អាតរួច សូមពិនិត្យមើលផ្ទៃទូក ចំណុចកាតក្រាហ្វិច និងសន្លាក់សន្លឹកទូក និងផ្នែកផ្សេងទៀត ដើម្បីមើលថាតើមានសំណល់ស៊ីលីកុននីត្រាតឬអត់។ បន្ទាប់មកស្ងួតតាមតម្រូវការ។
3. ការប្រុងប្រយ័ត្នក្នុងការលាងសម្អាត
ក) ដោយសារអាស៊ីត HF គឺជាសារធាតុដែលមានសារធាតុ corrosive ខ្ពស់ និងមានភាពប្រែប្រួលជាក់លាក់ វាមានគ្រោះថ្នាក់ដល់ប្រតិបត្តិករ។ ដូច្នេះ ប្រតិបត្តិករនៅប៉ុស្តិ៍សម្អាតត្រូវតែមានការប្រុងប្រយ័ត្នសុវត្ថិភាព និងត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយបុគ្គលដែលយកចិត្តទុកដាក់។
ខ) វាត្រូវបានផ្ដល់អនុសាសន៍ឱ្យរុះរើទូក ហើយសម្អាតតែផ្នែកក្រាហ្វីតកំឡុងពេលសម្អាត ដូច្នេះផ្នែកទំនាក់ទំនងនីមួយៗអាចសម្អាតបានកាន់តែហ្មត់ចត់។ នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ក្រុមហ៊ុនផលិតក្នុងស្រុកជាច្រើនប្រើការសម្អាតរួម ដែលងាយស្រួល ប៉ុន្តែដោយសារអាស៊ីត HF មានភាពច្រេះដល់ផ្នែកសេរ៉ាមិច ការសម្អាតរួមនឹងកាត់បន្ថយអាយុកាលសេវាកម្មនៃផ្នែកដែលត្រូវគ្នា។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី២៣ ខែធ្នូ ឆ្នាំ២០២៤