កំណកចំហាយគីមី (CVD) គឺជាបច្ចេកវិជ្ជាដាក់ស្រទាប់ហ្វីលស្តើងដ៏សំខាន់ ដែលជារឿយៗត្រូវបានប្រើដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តមុខងារផ្សេងៗ និងសម្ភារៈស្រទាប់ស្តើង ហើយត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងការផលិតសារធាតុ semiconductor និងវិស័យផ្សេងៗទៀត។
1. គោលការណ៍ការងាររបស់ CVD
នៅក្នុងដំណើរការ CVD មុនគេឧស្ម័ន (សមាសធាតុឧស្ម័នមុនមួយ ឬច្រើន) ត្រូវបាននាំចូលទៅក្នុងទំនាក់ទំនងជាមួយផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយត្រូវបានកំដៅដល់សីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ ដើម្បីបង្កឱ្យមានប្រតិកម្មគីមី និងប្រាក់បញ្ញើលើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត ឬថ្នាំកូតដែលចង់បាន។ ស្រទាប់។ ផលិតផលនៃប្រតិកម្មគីមីនេះគឺជារឹង ដែលជាធម្មតាជាសមាសធាតុនៃសម្ភារៈដែលចង់បាន។ ប្រសិនបើយើងចង់ស្អិតស៊ីលីកុនទៅលើផ្ទៃមួយ យើងអាចប្រើ trichlorosilane (SiHCl3) ជាឧស្ម័នមុនគេ៖ SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon នឹងភ្ជាប់ទៅនឹងផ្ទៃខាងក្រៅ (ទាំងខាងក្នុង និងខាងក្រៅ) ខណៈពេលដែលឧស្ម័នក្លរីន និងអាស៊ីត hydrochloric នឹង ត្រូវបានបណ្តេញចេញពីបន្ទប់។
2. ចំណាត់ថ្នាក់ CVD
CVD កំដៅ៖ តាមរយៈការកំដៅឧស្ម័នមុនដើម្បីបំបែក និងដាក់លើផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ Plasma Enhanced CVD (PECVD)៖ ប្លាស្មាត្រូវបានបន្ថែមទៅ CVD កម្ដៅ ដើម្បីបង្កើនអត្រាប្រតិកម្ម និងគ្រប់គ្រងដំណើរការបន្សល់ទុក។ Metal Organic CVD (MOCVD)៖ ការប្រើប្រាស់សមាសធាតុសរីរាង្គលោហៈជាឧស្ម័នមុនគេ ខ្សែភាពយន្តស្តើងនៃលោហធាតុ និងសារធាតុ semiconductors អាចត្រូវបានរៀបចំ ហើយជារឿយៗត្រូវបានគេប្រើក្នុងការផលិតឧបករណ៍ដូចជា LEDs ។
3. កម្មវិធី
(1) ការផលិតឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិក
ខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុនៈ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស្រទាប់អ៊ីសូឡង់ ស្រទាប់ខាងក្រោម ស្រទាប់ឯកោ។ល។ ខ្សែភាពយន្តនីទ្រីត៖ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស៊ីលីកុននីត្រាត នីត្រាត អាលុយមីញ៉ូម ជាដើម ប្រើក្នុងអំពូល LED ឧបករណ៍ថាមពល។ល។ ខ្សែភាពយន្តដែក៖ ប្រើសម្រាប់រៀបចំស្រទាប់ចរន្ត លោហធាតុ។ ស្រទាប់។ល។
(2) បច្ចេកវិទ្យាបង្ហាញ
ខ្សែភាពយន្ត ITO៖ ខ្សែភាពយន្តអុកស៊ីដដែលមានតម្លាភាព ដែលប្រើជាទូទៅនៅក្នុងអេក្រង់រាបស្មើ និងអេក្រង់ប៉ះ។ ខ្សែភាពយន្តទង់ដែង៖ ប្រើដើម្បីរៀបចំស្រទាប់វេចខ្ចប់ ខ្សែចរន្ត ជាដើម ដើម្បីកែលម្អដំណើរការនៃឧបករណ៍បង្ហាញ។
(3) វិស័យផ្សេងៗ
ថ្នាំកូតអុបទិក៖ រួមទាំងថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង តម្រងអុបទិក ជាដើម។
4. លក្ខណៈនៃដំណើរការ CVD
ប្រើបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដើម្បីជំរុញល្បឿនប្រតិកម្ម។ ជាធម្មតាត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបរិយាកាសខ្វះចន្លោះ។ ភាពកខ្វក់នៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកត្រូវតែត្រូវបានយកចេញមុនពេលគូរ។ ដំណើរការអាចមានដែនកំណត់លើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលអាចស្រោបបាន ពោលគឺការកំណត់សីតុណ្ហភាព ឬការកំណត់ប្រតិកម្ម។ ថ្នាំកូត CVD នឹងគ្របដណ្តប់គ្រប់ផ្នែកទាំងអស់នៃផ្នែក រួមទាំងខ្សែស្រឡាយ រន្ធពិការភ្នែក និងផ្ទៃខាងក្នុង។ អាចកំណត់សមត្ថភាពក្នុងការបិទបាំងតំបន់គោលដៅជាក់លាក់។ កម្រាស់នៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានកំណត់ដោយដំណើរការនិងលក្ខខណ្ឌសម្ភារៈ។ ភាពស្អិតជាប់ខ្ពស់។
5. គុណសម្បត្តិនៃបច្ចេកវិទ្យា CVD
ឯកសណ្ឋាន៖ អាចសម្រេចបាននូវការទម្លាក់ឯកសណ្ឋានលើស្រទាប់ខាងក្រោមផ្ទៃធំ។
ភាពអាចគ្រប់គ្រងបាន៖ អត្រានៃការបញ្ចេញ និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តអាចត្រូវបានកែតម្រូវដោយការគ្រប់គ្រងអត្រាលំហូរ និងសីតុណ្ហភាពនៃឧស្ម័នមុនគេ។
Versatility: ស័ក្តិសមសម្រាប់ការទម្លាក់វត្ថុធាតុផ្សេងៗ ដូចជាលោហៈ សារធាតុ semiconductors អុកស៊ីដ ជាដើម។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ឧសភា-០៦-២០២៤