Silicon carbide (SiC) គឺជាប្រភេទសម្ភារៈសេរ៉ាមិចដែលមានសក្តានុពលកម្មវិធីធំទូលាយ ដែលមានចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ស្ថេរភាពគីមី និងធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ដើម្បីធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងបន្ថែមទៀតនូវការអនុវត្ត និងជួរនៃការអនុវត្តនៃស៊ីលីកុនកាបូន បច្ចេកវិទ្យានៃការបំភាយចំហាយគីមី (CVD) បានក្លាយជាវិធីសាស្រ្តដ៏សំខាន់មួយក្នុងការរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូន។
ថ្នាំកូតស៊ីលីកុន កាបូនអ៊ីដ្រាត CVD អាចបង្កើតជាស្រទាប់ការពារឯកសណ្ឋាន និងក្រាស់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមផ្សេងៗ និងមានលក្ខណៈសម្បត្តិពិសេសៗជាច្រើន។ទីមួយ ថ្នាំកូតស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ មានភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់ ដែលអាចទប់ទល់នឹងការពាក់ និងការកោសបានយ៉ាងល្អ និងការពារស្រទាប់ខាងក្រោមពីការពាក់ និងការ corrosion។ទីពីរ ថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនមានភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ដ៏ល្អ ហើយនៅតែអាចរក្សាបាននូវកម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ និងស្ថេរភាពគីមីនៅក្រោមបរិយាកាសសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។នេះធ្វើឱ្យថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនអ៊ីដ្រាត CVD ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងលំហអាកាស ថាមពល គីមី និងផ្នែកផ្សេងទៀត ដូចជាសម្រាប់ថ្នាំកូតជញ្ជាំងខាងក្នុងនៃអង្គជំនុំជម្រះ្រំមហះ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាឧស្ម័នសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។
លើសពីនេះ ថ្នាំកូតស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ ក៏មានចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងលក្ខណៈសម្បត្តិអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីផងដែរ។ចរន្តកំដៅសំដៅលើសមត្ថភាពរបស់សម្ភារៈក្នុងការដឹកនាំកំដៅ ហើយចរន្តកំដៅខ្ពស់នៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបែត CVD ធ្វើឱ្យពួកវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីគ្រប់គ្រងកម្ដៅ ដូចជាសម្រាប់វិទ្យុសកម្ម និងបំពង់កំដៅ។អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីសំដៅលើការអនុវត្តអ៊ីសូឡង់នៃសម្ភារៈទៅនឹងចរន្តហើយអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីដ៏ល្អនៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនធ្វើឱ្យវាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចដូចជាស្រទាប់អ៊ីសូឡង់វ៉ុលខ្ពស់និងការវេចខ្ចប់អេឡិចត្រូនិច។
នៅពេលរៀបចំថ្នាំកូតស៊ីលីកុន កាបូនអ៊ីដ្រាត CVD ឧស្ម័នមុនគេទូទៅរួមមានប្រភពស៊ីលីកុន និងប្រភពកាបូនដូចជាមេតាន និងស៊ីលីន។ឧស្ម័នទាំងនេះបង្កើតជាស្រទាប់ស្តើងនៃស៊ីលីកុនកាបូននៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈប្រតិកម្ម CVD ។តាមរយៈការកែតម្រូវលក្ខខណ្ឌប្រតិកម្មដូចជា សីតុណ្ហភាព សម្ពាធខ្យល់ និងលំហូរឧស្ម័ន ភាពក្រាស់ សរីរវិទ្យា និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃថ្នាំកូតអាចត្រូវបានគ្រប់គ្រង។
សរុបមក ថ្នាំកូតស៊ីលីកុន កាបូអ៊ីដ CVD មានលក្ខណៈសម្បត្តិល្អលើសគេមួយចំនួន រួមមាន ភាពរឹងខ្ពស់ ធន់នឹងការពាក់ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ចរន្តកំដៅ និងអ៊ីសូឡង់អគ្គិសនី។លក្ខណៈសម្បត្តិទាំងនេះធ្វើឱ្យថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូនមានកម្មវិធីយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យជាច្រើន រួមទាំងលំហអាកាស ថាមពល គីមី និងអេឡិចត្រូនិច។ជាមួយនឹងការអភិវឌ្ឍន៍ និងការកែលម្អជាបន្តបន្ទាប់នៃបច្ចេកវិជ្ជា CVD ការអនុវត្តនៃថ្នាំកូតស៊ីលីកុនកាបូននឹងមានភាពប្រសើរឡើងបន្ថែមទៀត ដោយផ្តល់នូវលទ្ធភាពកាន់តែច្រើនសម្រាប់កម្មវិធីកាន់តែច្រើននៅក្នុងវិស័យជាច្រើនទៀត។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី១៨-ធ្នូ២០២៣