មុខងារចម្បងរបស់ទូកស៊ីលីកុនកាបូនការគាំទ្រនិងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវគឺដូចគ្នា។ទូកស៊ីលីកុនកាបូនការគាំទ្រមានដំណើរការល្អប៉ុន្តែតម្លៃខ្ពស់។ វាបង្កើតជាទំនាក់ទំនងជំនួសជាមួយការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវនៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃថ្មជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌការងារដ៏លំបាក (ដូចជាឧបករណ៍ LPCVD និងឧបករណ៍បំភាយ boron)។ នៅក្នុងឧបករណ៍កែច្នៃថ្មជាមួយនឹងលក្ខខណ្ឌការងារធម្មតា ដោយសារទំនាក់ទំនងតម្លៃ ស៊ីលីកុនកាបោន និងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវក្លាយជាប្រភេទរួម និងប្រកួតប្រជែង។
① ទំនាក់ទំនងជំនួសនៅក្នុង LPCVD និងឧបករណ៍បំភាយ boron
ឧបករណ៍ LPCVD ត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការធ្វើអុកស៊ីតកម្មផ្លូវរូងក្រោមដីនៃកោសិកាថ្ម និងដំណើរការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុន។ គោលការណ៍ការងារ៖
នៅក្រោមបរិយាកាសសម្ពាធទាប រួមផ្សំជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពសមស្រប ប្រតិកម្មគីមី និងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តបន្សល់ទុកត្រូវបានសម្រេចដើម្បីរៀបចំស្រទាប់អុកស៊ីតផ្លូវរូងក្រោមដីស្តើងបំផុត និងខ្សែភាពយន្តប៉ូលីស៊ីលីកុន។ នៅក្នុងដំណើរការនៃការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុនអុកស៊ីតកម្ម និងសារធាតុ doped ជំនួយទូកមានសីតុណ្ហភាពការងារខ្ពស់ ហើយខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននឹងត្រូវដាក់លើផ្ទៃ។ មេគុណពង្រីកកំដៅនៃរ៉ែថ្មខៀវគឺខុសគ្នាខ្លាំងពីស៊ីលីកុន។ នៅពេលប្រើក្នុងដំណើរការខាងលើ វាចាំបាច់ក្នុងការរើស និងយកស៊ីលីកុនដែលដាក់លើផ្ទៃឱ្យបានទៀងទាត់ ដើម្បីការពារកុំឱ្យការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវពីការបាក់ដោយសារតែការពង្រីកកម្ដៅ និងការកន្ត្រាក់ដោយសារតែមេគុណនៃការពង្រីកកម្ដៅខុសគ្នាពីស៊ីលីកុន។ ដោយសារការរើសញឹកញាប់ និងភាពខ្លាំងនៃសីតុណ្ហភាពទាប អ្នកកាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវមានអាយុខ្លី ហើយត្រូវបានជំនួសជាញឹកញាប់នៅក្នុងដំណើរការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុនអុកស៊ីតកម្ម និងសារធាតុ doped ដែលបង្កើនតម្លៃផលិតកោសិកាថ្មយ៉ាងខ្លាំង។ មេគុណពង្រីកនៃស៊ីលីកុនកាបូនគឺនៅជិតស៊ីលីកុន។ រួមបញ្ចូលគ្នាទូកស៊ីលីកុនកាបូនអ្នកកាន់មិនតម្រូវឱ្យមានការជ្រលក់ក្នុងដំណើរការអុកស៊ីតកម្មផ្លូវរូងក្រោមដី និងដំណើរការរៀបចំស្រទាប់ប៉ូលីស៊ីលីកុន។ វាមានកម្លាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងអាយុកាលប្រើប្រាស់បានយូរ។ វាគឺជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់អ្នកកាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវ។
ឧបករណ៍ពង្រីក Boron ត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ដំណើរការនៃសារធាតុ doping boron នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម silicon wafer ប្រភេទ N នៃកោសិកាថ្ម ដើម្បីរៀបចំឧបករណ៍បញ្ចេញប្រភេទ P ដើម្បីបង្កើតជាប្រសព្វ PN ។ គោលការណ៍ការងារគឺដើម្បីដឹងអំពីប្រតិកម្មគីមី និងការបង្កើតខ្សែភាពយន្តកំណកម៉ូលេគុលនៅក្នុងបរិយាកាសដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ បន្ទាប់ពីខ្សែភាពយន្តត្រូវបានបង្កើតឡើង វាអាចត្រូវបានសាយភាយដោយកំដៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដើម្បីដឹងពីមុខងារ doping នៃផ្ទៃ wafer ស៊ីលីកុន។ ដោយសារតែសីតុណ្ហភាពការងារខ្ពស់នៃឧបករណ៍ពង្រីក boron អ្នកកាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវមានកម្លាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ទាប និងអាយុកាលសេវាកម្មខ្លីនៅក្នុងឧបករណ៍ពង្រីក boron ។ រួមបញ្ចូលគ្នាទូកស៊ីលីកុនកាបូនអ្នកកាន់មានកម្លាំងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងជាជម្រើសដ៏ល្អសម្រាប់អ្នកកាន់ទូករ៉ែថ្មខៀវនៅក្នុងដំណើរការពង្រីក boron ។
② ទំនាក់ទំនងជំនួសនៅក្នុងឧបករណ៍ដំណើរការផ្សេងទៀត។
ការគាំទ្រទូក SiC មានសមត្ថភាពផលិតតឹងរឹង និងដំណើរការល្អឥតខ្ចោះ។ ជាទូទៅតម្លៃរបស់ពួកគេគឺខ្ពស់ជាងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវ។ នៅក្នុងលក្ខខណ្ឌការងារទូទៅនៃឧបករណ៍កែច្នៃកោសិកា ភាពខុសគ្នានៃជីវិតសេវាកម្មរវាងការគាំទ្រទូក SiC និងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវគឺតូច។ អតិថិជនខាងក្រោមភាគច្រើនប្រៀបធៀប និងជ្រើសរើសរវាងតម្លៃ និងការអនុវត្តដោយផ្អែកលើដំណើរការ និងតម្រូវការផ្ទាល់ខ្លួនរបស់ពួកគេ។ ការគាំទ្រទូក SiC និងការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវបានក្លាយទៅជាការរួមគ្នានិងការប្រកួតប្រជែង។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ ប្រាក់ចំណេញសរុបនៃការគាំទ្រទូក SiC គឺខ្ពស់គួរសមនាពេលបច្ចុប្បន្ន។ ជាមួយនឹងការធ្លាក់ចុះនៃថ្លៃដើមផលិតកម្មរបស់ទូក SiC ប្រសិនបើតម្លៃលក់របស់ទូក SiC ធ្លាក់ចុះយ៉ាងសកម្ម វាក៏នឹងធ្វើឱ្យមានការប្រកួតប្រជែងកាន់តែខ្លាំងចំពោះការគាំទ្រទូករ៉ែថ្មខៀវផងដែរ។
សមាមាត្រនៃការប្រើប្រាស់
ផ្លូវបច្ចេកវិទ្យាកោសិកាភាគច្រើនគឺបច្ចេកវិទ្យា PERC និងបច្ចេកវិទ្យា TOPCon ។ ចំណែកទីផ្សារនៃបច្ចេកវិទ្យា PERC គឺ 88% ហើយចំណែកទីផ្សារនៃបច្ចេកវិទ្យា TOPCon គឺ 8.3%។ ចំណែកទីផ្សាររួមបញ្ចូលគ្នានៃទាំងពីរគឺ 96.30% ។
ដូចបង្ហាញក្នុងរូបខាងក្រោម៖
នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា PERC ការគាំទ្រទូកគឺត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ការសាយភាយផូស្វ័រផ្នែកខាងមុខ និងដំណើរការ annealing ។ នៅក្នុងបច្ចេកវិទ្យា TOPCon ការគាំទ្រទូកគឺត្រូវបានទាមទារសម្រាប់ការសាយភាយ boron ខាងមុខ LPCVD ការសាយភាយផូស្វ័រត្រឡប់មកវិញ និងដំណើរការ annealing ។ នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ ជំនួយទូកស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវបានប្រើប្រាស់ជាចម្បងនៅក្នុងដំណើរការ LPCVD នៃបច្ចេកវិទ្យា TOPCon ហើយកម្មវិធីរបស់ពួកគេនៅក្នុងដំណើរការនៃការសាយភាយ boron ត្រូវបានផ្ទៀងផ្ទាត់ជាចម្បង។
រូបភាពកម្មវិធីជំនួយទូកក្នុងដំណើរការដំណើរការកោសិកា
ចំណាំ៖ បន្ទាប់ពីការស្រោបខាងមុខ និងខាងក្រោយនៃបច្ចេកវិទ្យា PERC និង TOPCon នៅតែមានតំណភ្ជាប់ដូចជា ការបោះពុម្ពអេក្រង់ ការដុត និងការធ្វើតេស្ត និងការតម្រៀប ដែលមិនពាក់ព័ន្ធនឹងការប្រើប្រាស់ជំនួយទូក និងមិនត្រូវបានរាយក្នុងរូបភាពខាងលើ។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ១៥-តុលា-២០២៤