Dual-Damascene - интегралды схемалардағы металл қосылыстарды өндіру үшін қолданылатын технологиялық технология. Бұл Дамаск процесінің одан әрі дамуы. Саңылаулар мен ойықтар арқылы бір уақытта бір технологиялық қадамда қалыптау және оларды металмен толтыру арқылы металл өзара байланыстарды кешенді дайындау жүзеге асырылады.
Неліктен Дамаск деп аталады?
Дамаск қаласы Сирияның астанасы болып табылады және Дамаск қылыштары өздерінің өткірлігімен және талғампаз құрылымымен танымал. Инкрустацияның бір түрі қажет: біріншіден, Дамаск болатының бетіне қажетті үлгі оюланып, алдын ала дайындалған материалдар ойылған ойықтарға тығыз салынған. Кірістіру аяқталғаннан кейін беті сәл тегіс емес болуы мүмкін. Жалпы тегістікті қамтамасыз ету үшін шебер оны мұқият жылтыратады. Және бұл процесс чиптің қос Дамаск процесінің прототипі болып табылады. Алдымен диэлектрлік қабатта ойықтар немесе саңылаулар ойылады, содан кейін оларға металл толтырылады. Толтырғаннан кейін артық металл смп арқылы жойылады.
Қос дамаск процесінің негізгі қадамдарына мыналар жатады:
▪ Диэлектрлік қабаттың шөгуі:
Жартылай өткізгішке кремний диоксиді (SiO2) сияқты диэлектрлік материал қабатын салыңыз.вафли.
▪ Үлгіні анықтау үшін фотолитография:
Диэлектрлік қабаттағы жолдар мен траншеялардың үлгісін анықтау үшін фотолитографияны пайдаланыңыз.
▪Ою:
Құрғақ немесе дымқыл өңдеу арқылы диэлектрлік қабатқа жолдар мен траншеялардың үлгісін тасымалдаңыз.
▪ Металл шөгіндісі:
Мыс (Cu) немесе алюминий (Al) сияқты металдарды металл қосылыстар жасау үшін жолдар мен траншеяларға салыңыз.
▪ Химиялық механикалық жылтырату:
Артық металды кетіру және бетін тегістеу үшін металл бетін химиялық механикалық жылтырату.
Дәстүрлі металл коннекторларды өндіру процесімен салыстырғанда, қос дамаск процесі келесі артықшылықтарға ие:
▪Жеңілдетілген процесс қадамдары:бір технологиялық қадамда жолдар мен траншеяларды бір уақытта қалыптастыру арқылы процесс қадамдары мен өндіру уақыты қысқарады.
▪Өндіріс тиімділігін арттыру:процесс қадамдарының қысқаруына байланысты қос дамаск процесі өндіріс тиімділігін арттырып, өндіріс шығындарын азайтады.
▪Металл қосылыстардың өнімділігін арттыру:қосарлы дамаск процесі тар металдық өзара байланыстарға қол жеткізе алады, осылайша тізбектердің интеграциясы мен өнімділігін жақсартады.
▪Паразиттік сыйымдылықты және қарсылықты азайту:төмен к-диэлектрлік материалдарды пайдалану және металл қосылыстарының құрылымын оңтайландыру арқылы паразиттік сыйымдылық пен кедергіні азайтуға, тізбектердің жылдамдығы мен қуат тұтыну көрсеткіштерін жақсартуға болады.
Жіберу уақыты: 25 қараша 2024 ж