Жоғарыда көрсетілгендей, бұл типтік
Бірінші тайм:
Қыздыру элементі (жылыту катушкасы): пеш түтігінің айналасында орналасқан, әдетте қарсылық сымдардан жасалған, пеш құбырының ішкі бөлігін жылыту үшін қолданылады.
Кварц түтігі: жоғары температураға төтеп бере алатын және химиялық инертті болып қалатын жоғары таза кварцтан жасалған ыстық тотығу пешінің өзегі.
Газ беру: Пеш түтігінің жоғарғы жағында немесе жағында орналасқан, ол оттегін немесе басқа газдарды пеш түтігінің ішіне тасымалдау үшін қолданылады.
SS фланец: кварцты түтіктер мен газ құбырларын қосатын құрамдас бөліктер, қосылудың тығыздығы мен тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
Газ беру желілері: МФҚ-ны газ беру үшін газбен жабдықтау портына қосатын құбырлар.
MFC (массалық ағынды реттегіш): қажетті газ мөлшерін дәл реттеу үшін кварц түтігінің ішіндегі газ ағынын басқаратын құрылғы.
Желдеткіш: Пеш түтігінің ішінен шығатын газды жабдықтың сыртына шығару үшін қолданылады.
Төменгі бөлік
Ұстағыштағы кремний вафлилері: кремний пластиналары тотығу кезінде біркелкі жылуды қамтамасыз ету үшін арнайы ұстағышта орналастырылған.
Вафли ұстағышы: кремний пластинасын ұстау және процесс барысында кремний пластинаның тұрақты болуын қамтамасыз ету үшін қолданылады.
Тұғыр: әдетте жоғары температураға төзімді материалдан жасалған кремний пластинасын ұстайтын құрылым.
Элеватор: Кремний пластинкаларын автоматты түрде тиеу және түсіру үшін кварц түтіктеріне вафли ұстағыштарын көтеру үшін қолданылады.
Вафельді тасымалдау роботы: пеш түтігі құрылғысының жағында орналасқан, ол кремний пластинасын қораптан автоматты түрде алып тастау және оны пеш түтігіне қою немесе өңдеуден кейін оны алу үшін қолданылады.
Кассета сақтау карусельі: кассетаны сақтау карусель кремний пластиналары бар қорапты сақтау үшін пайдаланылады және роботқа кіру үшін айналдыруға болады.
Вафли кассетасы: вафельді кассета өңделетін кремний пластинкаларын сақтау және тасымалдау үшін қолданылады.
Жіберу уақыты: 22 сәуір-2024 ж