Жоғарыда көрсетілгендей, бұл типтік
Бірінші тайм:
▪ Қыздыру элементі (қыздыру катушкасы):
пеш түтігінің айналасында орналасқан, әдетте қарсылық сымдардан жасалған, пеш құбырының ішін жылыту үшін қолданылады.
▪ Кварц түтігі:
Жоғары температураға төтеп бере алатын және химиялық инертті болып қалатын жоғары таза кварцтан жасалған ыстық тотығу пешінің өзегі.
▪ Газ беру:
Пеш түтігінің үстіңгі жағында немесе жағында орналасқан, ол оттегін немесе басқа газдарды пеш түтігінің ішкі жағына тасымалдау үшін қолданылады.
▪ SS фланец:
қосылыстың тығыздығы мен тұрақтылығын қамтамасыз ететін кварц түтіктері мен газ құбырларын қосатын компоненттер.
▪ Газ беру желілері:
МФҚ-ны газды тасымалдау үшін газбен жабдықтау портына қосатын құбырлар.
▪ MFC (массалық ағынды реттегіш):
Қажетті газ мөлшерін дәл реттеу үшін кварц түтігінің ішіндегі газ ағынын басқаратын құрылғы.
▪ Желдеткіш:
Пеш түтігінің ішінен шығатын газды жабдықтың сыртына шығару үшін қолданылады.
Төменгі бөлігі:
▪ Ұстағыштағы кремний пластиналары:
Кремний пластиналары тотығу кезінде біркелкі жылуды қамтамасыз ету үшін арнайы Ұстағышқа орналастырылған.
▪ Вафли ұстағышы:
Кремний пластинасын ұстау және процесс барысында кремний пластинаның тұрақты болуын қамтамасыз ету үшін қолданылады.
▪ Тұғыр:
Әдетте жоғары температураға төзімді материалдан жасалған кремний пластинасын ұстайтын құрылым.
▪ Лифт:
Кремний пластинкаларын автоматты түрде тиеу және түсіру үшін вафли ұстағыштарын кварц түтіктерінің ішіне және ішінен көтеру үшін қолданылады.
▪ Вафельді тасымалдау роботы:
пеш түтік құрылғысының бүйірінде орналасқан, ол автоматты түрде қораптан кремний пластинасын алып тастау және оны пеш түтігіне қою немесе өңдеуден кейін оны алу үшін қолданылады.
▪ Кассета сақтау карусельі:
Кассета сақтау карусель кремний пластиналары бар қорапты сақтау үшін пайдаланылады және роботқа кіру үшін айналдыруға болады.
▪ Вафельді кассета:
вафельді кассета өңделетін кремний пластинкаларын сақтау және тасымалдау үшін қолданылады.
Жіберу уақыты: 22 сәуір-2024 ж