Тазалығы жоғары графит компоненттері өте маңыздыжартылай өткізгіш, жарықдиодты және күн өнеркәсібіндегі процестер. Біздің ұсыныстарымыз кристалды өсіретін ыстық аймақтарға арналған графит шығын материалдарынан (жылытқыштар, тигельді қабылдағыштар, оқшаулау), пластинаны өңдеуге арналған жабдыққа арналған жоғары дәлдіктегі графит компоненттеріне дейін, мысалы, Epitaxy немесе MOCVD үшін кремний карбидпен қапталған графитке қарсы қабылдағыштарға дейін. Дәл осы жерде біздің арнайы графитіміз ойнайды: изостатикалық графит құрама жартылай өткізгіш қабаттарды өндіру үшін іргелі болып табылады. Олар эпитаксия немесе MOCVD процесі деп аталатын экстремалды температура кезінде «ыстық аймақта» түзіледі. Реакторда пластиналар қапталған айналмалы тасымалдаушы кремний карбидімен қапталған изостатикалық графиттен тұрады. Тек осы өте таза, біртекті графит қаптау процесінде жоғары талаптарға жауап береді.
TЖарықдиодты эпитаксиалды пластинаның өсуінің негізгі принципі: тиісті температураға дейін қыздырылған субстратта (негізінен сапфир, SiC және Si) InGaAlP газ тәрізді материал белгілі бір кристалды пленканы өсіру үшін бақыланатын жолмен субстрат бетіне тасымалданады. Қазіргі уақытта LED эпитаксиалды пластинаның өсу технологиясы негізінен органикалық металлдың химиялық буының тұндыруын қабылдайды.
Жарықдиодты эпитаксиалды субстрат материалыжартылай өткізгішті жарықтандыру өнеркәсібінің технологиялық дамуының ірге тасы болып табылады. Әртүрлі субстрат материалдары әртүрлі жарықдиодты эпитаксиалды вафли өсіру технологиясын, чиптерді өңдеу технологиясын және құрылғыны орау технологиясын қажет етеді. Субстрат материалдары жартылай өткізгішті жарықтандыру технологиясының даму жолын анықтайды.
Жарықдиодты эпитаксиалды пластинаның субстрат материалын таңдау сипаттамалары:
1. Эпитаксиалды материалдың субстратпен бірдей немесе ұқсас кристалдық құрылымы, шағын тордың тұрақты сәйкессіздігі, жақсы кристалдылығы және ақау тығыздығы төмен.
2. Жақсы интерфейс сипаттамалары, эпитаксиалды материалдардың ядролануына және күшті адгезияға ықпал етеді
3. Ол жақсы химиялық тұрақтылыққа ие және эпитаксиалды өсу температурасы мен атмосферасында ыдырауға және коррозияға оңай емес.
4. Жақсы жылу өнімділігі, соның ішінде жақсы жылу өткізгіштік және төмен жылу сәйкессіздігі
5. Жақсы өткізгіштік, жоғарғы және төменгі құрылымға жасалуы мүмкін 6, жақсы оптикалық өнімділік және дайындалған құрылғы шығаратын жарық субстратпен аз жұтылады.
7. Жіңішкеру, жылтырату және кесуді қоса алғанда, құрылғылардың жақсы механикалық қасиеттері және оңай өңделуі
8. Төмен баға.
9. Үлкен өлшем. Әдетте, диаметрі 2 дюймден кем болмауы керек.
10. Қалыпты пішінді субстратты алу оңай (басқа арнайы талаптар болмаса), ал эпитаксиалды жабдықтың науа тесігіне ұқсас субстрат пішіні эпитаксиалды сапаға әсер ететіндей ретсіз құйынды токты қалыптастыру оңай емес.
11. Эпитаксистік сапаға әсер етпеу шартында негіздің өңдеуге қабілеттілігі мүмкіндігінше кейінгі чип пен қаптаманы өңдеу талаптарына сәйкес келуі керек.
Субстрат таңдау үшін жоғарыда аталған он бір аспектіні бір уақытта қанағаттандыру өте қиын. Сондықтан, қазіргі уақытта біз тек эпитаксиалды өсу технологиясын өзгерту және құрылғыны өңдеу технологиясын реттеу арқылы әртүрлі субстраттардағы жартылай өткізгіш жарық шығаратын құрылғыларды ҒЗТКЖ және өндіруге бейімделе аламыз. Галлий нитридін зерттеу үшін көптеген субстрат материалдары бар, бірақ өндіру үшін тек екі субстрат бар, атап айтқанда сапфир Al2O3 және кремний карбиді.SiC субстраттары.
Жіберу уақыты: 28 ақпан 2022 ж