PECVD ჩატვირთვის უჯრა დეპონირების გრაფიტის უჯრა

მოკლე აღწერა:

VET Energy-ის PECVD ჩატვირთვის უჯრა შექმნილია იმისათვის, რომ უზრუნველყოს ვაფლის უსაფრთხო და თანაბარი მხარდაჭერა დეპონირების დროს, რაც აუმჯობესებს დეპონირების პროცესის თანმიმდევრულობას და ხარისხს. შესანიშნავი სითბოს წინააღმდეგობით, გრაფიტის უჯრა ხელს უწყობს კონტროლირებადი გარემოს შენარჩუნებას PECVD კამერებში, ამცირებს დაბინძურების რისკს და უზრუნველყოფს პროცესის მაღალ ეფექტურობას.

გამოგვიგზავნეთ ელ.წერილი ჩამოტვირთეთ როგორც PDF

პროდუქტის დეტალი

პროდუქტის ტეგები

VET Energy PECVD ჩატვირთვის უჯრა არის ზუსტი გადამზიდავი, რომელიც შექმნილია PECVD (პლაზმის გაძლიერებული ქიმიური ორთქლის დეპონირების) პროცესისთვის. ეს მაღალი ხარისხის დეპონირების გრაფიტის უჯრა დამზადებულია მაღალი სისუფთავის, მაღალი სიმკვრივის გრაფიტის მასალისგან. მას აქვს შესანიშნავი მაღალი ტემპერატურის წინააღმდეგობა, კოროზიის წინააღმდეგობა, განზომილებიანი სტაბილურობა და სხვა მახასიათებლები. მას შეუძლია უზრუნველყოს სტაბილური გადამზიდავი პლატფორმა PECVD პროცესისთვის და უზრუნველყოს ფილმის დეპონირების ერთგვაროვნება და სიბრტყე.

VET Energy PECVD ჩატვირთვის უჯრები ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარულ, ფოტოელექტრონულ, LED და სხვა სფეროებში. მაგალითად:

▪ ნახევარგამტარი: PECVD პროცესი ნახევარგამტარული მასალებისთვის, როგორიცაა სილიკონის ვაფლები და ეპიტაქსიალური ვაფლები.

▪ Photovoltaic: PECVD პროცესი მზის უჯრედების თხელი ფენებისთვის.

▪ LED: PECVD პროცესი LED ჩიპებისთვის.

პროდუქტის უპირატესობები

▪ფილმის ხარისხის გაუმჯობესება:უზრუნველყოს ფილმის ერთგვაროვანი დეპონირება და გააუმჯობესოს ფილმის ხარისხი.

▪აღჭურვილობის სიცოცხლის გახანგრძლივება:შესანიშნავი კოროზიის წინააღმდეგობა, ახანგრძლივებს PECVD აღჭურვილობის მომსახურების ვადას.

▪შეამცირეთ წარმოების ხარჯები:მაღალი ხარისხის გრაფიტის უჯრებს შეუძლიათ შეამცირონ ჯართის მაჩვენებელი და შეამცირონ წარმოების ხარჯები.

გრაფიტის მასალა SGL-დან:

ტიპიური პარამეტრი: R6510
ინდექსი	ტესტის სტანდარტი	ღირებულება	ერთეული
მარცვლის საშუალო ზომა	ISO 13320	10	მმ
ნაყარი სიმკვრივე	DIN IEC 60413/204	1.83	გ/სმ³
ღია ფორიანობა	DIN66133	10	%
ფორების საშუალო ზომა	DIN66133	1.8	მმ
გამტარიანობა	DIN 51935	0.06	სმ²/წმ
როკველის სიმტკიცე HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
სპეციფიური ელექტრული წინაღობა	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
მოქნილობის სიმტკიცე	DIN IEC 60413/501	60	მპა
კომპრესიული ძალა	DIN 51910	130	მპა
იანგის მოდული	DIN 51915	11,5×10³	მპა
თერმული გაფართოება (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
თბოგამტარობა (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

ის სპეციალურად შექმნილია მზის უჯრედების მაღალი ეფექტურობის წარმოებისთვის, G12 დიდი ზომის ვაფლის დამუშავების მხარდაჭერით. გადამზიდის ოპტიმიზებული დიზაინი მნიშვნელოვნად ზრდის გამტარუნარიანობას, რაც საშუალებას იძლევა უფრო მაღალი მოსავლიანობის მაჩვენებლები და დაბალი წარმოების ხარჯები.

ელემენტი	ტიპი	ნომრის ვაფლის გადამზიდავი
PEVCD Grephite ნავი - 156 სერია	156-13 გრეფიტის ნავი	144
	156-19 გრეფიტის ნავი	216
	156-21 გრეფიტის ნავი	240
	156-23 გრაფიტის ნავი	308
PEVCD Grephite ნავი - 125 სერია	125-15 გრეფიტის ნავი	196
	125-19 გრეფიტის ნავი	252
	125-21 გრფიტის ნავი	280