როგორც ზემოთ ნაჩვენებია, ტიპიურია
პირველი ნახევარი:
გამაცხელებელი ელემენტი (გამათბობელი კოჭა): მდებარეობს ღუმელის მილის გარშემო, ჩვეულებრივ დამზადებულია წინააღმდეგობის მავთულისგან, რომელიც გამოიყენება ღუმელის მილის შიგნით გასათბობად.
კვარცის მილი: ცხელი ჟანგვის ღუმელის ბირთვი, დამზადებული მაღალი სისუფთავის კვარცისგან, რომელიც უძლებს მაღალ ტემპერატურას და რჩება ქიმიურად ინერტული.
გაზის მიწოდება: მდებარეობს ღუმელის მილის ზედა ან მხარეს, იგი გამოიყენება ჟანგბადის ან სხვა გაზების გადასატანად ღუმელის მილის შიგნით.
SS Flange: კომპონენტები, რომლებიც აკავშირებენ კვარცის მილებსა და გაზსადენებს, რაც უზრუნველყოფს კავშირის შებოჭილობას და სტაბილურობას.
გაზის მიწოდების ხაზები: მილები, რომლებიც აკავშირებს MFC-ს გაზის მიწოდების პორტთან გაზის გადაცემისთვის.
MFC (Mass Flow Controller): მოწყობილობა, რომელიც აკონტროლებს გაზის ნაკადს კვარცის მილში, რათა ზუსტად დაარეგულიროს საჭირო გაზის რაოდენობა.
ვენტილი: გამოიყენება გამონაბოლქვი აირის გასასინჯად ღუმელის მილის შიგნიდან აღჭურვილობის გარეთ.
ქვედა ნაწილი
სილიკონის ვაფლები დამჭერში: სილიკონის ვაფლები მოთავსებულია სპეციალურ საყრდენში, რათა უზრუნველყოს ერთგვაროვანი სითბო დაჟანგვის დროს.
ვაფლის დამჭერი: გამოიყენება სილიკონის ვაფლის დასაჭერად და პროცესის განმავლობაში სილიკონის ვაფლის სტაბილურობის უზრუნველსაყოფად.
კვარცხლბეკი: სტრუქტურა, რომელსაც უჭირავს სილიკონის ვაფლის დამჭერი, ჩვეულებრივ დამზადებული მაღალი ტემპერატურის მდგრადი მასალისგან.
ლიფტი: გამოიყენება ვაფლის დამჭერების ასაწევად კვარცის მილებში და ამოსაღებად სილიკონის ვაფლის ავტომატური ჩატვირთვა-გადმოტვირთვისთვის.
ვაფლის გადამტანი რობოტი: მდებარეობს ღუმელის მილის მოწყობილობის მხარეს, გამოიყენება სილიკონის ვაფლის ავტომატურად ამოსაღებად ყუთიდან და მოთავსებისთვის ღუმელის მილში, ან მოსახსნელად დამუშავების შემდეგ.
კასეტის შესანახი კარუსელი: კასეტების შესანახი კარუსელი გამოიყენება ყუთის შესანახად, რომელიც შეიცავს სილიკონის ვაფლებს და შეიძლება შეტრიალდეს რობოტის წვდომისთვის.
ვაფლის კასეტა: ვაფლის კასეტა გამოიყენება დასამუშავებელი სილიკონის ვაფლის შესანახად და გადასატანად.
გამოქვეყნების დრო: აპრ-22-2024