SiC Coating / Coated Graphite Substrat / Tray kanggo Semikonduktor

Katrangan singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor kanggo Epitaxial Growth minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe.Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.


Detail Produk

Tag produk

Lapisan SiC / dilapisi susceptor Grafit kanggo Semikonduktor
 
SiC Coated Graphite Susceptor minangka komponen kunci sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor.Kita nggunakake teknologi paten kanggo nggawe operator silikon karbida kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik, uga tahan kimia sing dhuwur lan sifat stabilitas termal.

 Fitur: 
· Resistance Shock Thermal sing apik banget
· Resistensi Shock Fisik sing Apik banget
· Resistance Kimia banget
· Kemurnian Super Dhuwur
· Kasedhiyan ing Wangun Komplek
· Bisa digunakake ing Atmosfer Oksidasi

Aplikasi:

3

Sifat-sifat Khas Bahan Grafit Dasar:

Kapadhetan katon: 1,85 g/cm3
Resistivitas listrik: 11 μΩm
Kekuatan lentur: 49 MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan pantai: 58
awu: <5 ppm
Konduktivitas termal: 116 W/mK (100 kkal/mhr- ℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

FCC β phase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Grain

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas Kalor

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃

导热系数 / Konduktivitas Termal

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy minangka pabrikan nyata produk grafit lan silikon karbida sing disesuaikan kanthi macem-macem lapisan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan sapiturute, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Kita terus-terusan ngembangake proses maju kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih maju, lan wis ngupayakake teknologi paten sing eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan landasan luwih kenceng lan kurang rentan kanggo detasemen.

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Obrolan Online WhatsApp!