Pembawa Grafit MOCVD kanthi Lapisan SiC CVD

Katrangan singkat:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

 


Detail Produk

Tag produk

Susceptor grafit sing dilapisi SiC minangka komponen kunci sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor. kita nggunakake teknologi paten kita kanggo nggawe susceptor kanthi kemurnian dhuwur banget, uniformity lapisan apik lan urip layanan banget, uga resistance kimia dhuwur lan sifat stabilitas termal.

6

Fitur produk kita:

1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700 ℃.
2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.

4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuwatan lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivitas

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy minangka pabrikan nyata produk grafit lan silikon karbida sing disesuaikan kanthi macem-macem lapisan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan sapiturute, bisa nyedhiyakake macem-macem bagean khusus kanggo industri semikonduktor lan fotovoltaik.

Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik ndhuwur, bisa menehi solusi materi sing luwih profesional kanggo sampeyan.

Kita terus-terusan ngembangake proses maju kanggo nyedhiyakake bahan sing luwih maju, lan wis ngupayakake teknologi paten sing eksklusif, sing bisa nggawe ikatan antarane lapisan lan landasan luwih kenceng lan kurang rentan kanggo detasemen.

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Chat Online WhatsApp!