SiC Coated Graphite Carrier / Susceptor

Katrangan singkat:

VET Energy SiC Coated Graphite Carrier / Susceptor minangka produk kinerja dhuwur sing dirancang kanggo nyedhiyakake kinerja sing konsisten lan dipercaya sajrone wektu sing suwe. Nduwe resistensi panas sing apik banget lan keseragaman termal, kemurnian dhuwur, tahan erosi, dadi solusi sing sampurna kanggo aplikasi pangolahan wafer.

 


Detail Produk

Tag produk

Suscetpor dilapisi SiC minangka komponen utama sing digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor. Kita nggunakake teknologi sing dipatenake kanggo nggawe suscetpor dilapisi SiC kanthi kemurnian sing dhuwur banget, keseragaman lapisan sing apik lan umur layanan sing apik, uga tahan kimia sing dhuwur lan sifat stabilitas termal.

Fitur produk kita:

1. Resistance oksidasi suhu dhuwur nganti 1700 ℃.
2. Kemurnian dhuwur lan keseragaman termal
3. Resistensi korosi sing apik: reagen asam, alkali, uyah lan organik.
4. kekerasan dhuwur, lumahing kompak, partikel alus.
5. Urip layanan luwih dawa lan luwih awet

pembawa 2 pembawa 4

pembawa 1 pembawa 3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dhasar saka CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kapadhetan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(500g beban)

晶粒大小 / Ukuran Gandum

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99.99995%

热容 / Kapasitas panas

640 J·kg-1· K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700 ℃

抗弯强度 / Kekuwatan lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 / Modulus Muda

430 Gpa 4pt tikungan, 1300 ℃

导热系数 / ThermalKonduktivitas

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Sugeng rawuh ing pabrik kita, ayo diskusi luwih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Sadurunge:
  • Sabanjure:

  • Chat Online WhatsApp!