Fan out wafer level packaging (FOWLP) minangka cara sing larang regane ing industri semikonduktor. Nanging efek samping khas saka proses iki yaiku warping lan chip offset. Senadyan dandan terus-terusan tingkat wafer lan panel tingkat penggemar metu teknologi, masalah iki related kanggo ngecor isih ana.
Warping disebabake dening shrinkage kimia saka senyawa ngecor kompresi cair (LCM) nalika ngobati lan cooling sawise ngecor. Alesan liya kanggo warping yaiku ora cocog ing koefisien ekspansi termal (CTE) antarane chip silikon, bahan cetakan, lan substrat. Offset amarga kasunyatan manawa bahan cetakan kenthel kanthi isi pengisi dhuwur biasane mung bisa digunakake ing suhu dhuwur lan tekanan dhuwur. Nalika chip kasebut dipasang ing operator liwat ikatan sementara, nambah suhu bakal nyuda adesif, saéngga nyuda kekuatan adesif lan nyuda kemampuan kanggo ndandani chip kasebut. Alesan liya kanggo offset yaiku tekanan sing dibutuhake kanggo ngecor nggawe stres ing saben chip.
Kanggo nemokake solusi kanggo tantangan kasebut, DELO nganakake studi kelayakan kanthi nggabungake chip analog sing prasaja menyang operator. Ing babagan persiyapan, wafer operator dilapisi karo adesif ikatan sementara, lan chip diselehake ing ngisor. Salajengipun, wafer dicetak nganggo adesif DELO viskositas rendah lan diobati kanthi radiasi ultraviolet sadurunge nyopot wafer operator. Ing aplikasi kasebut, komposit cetakan thermosetting viskositas dhuwur biasane digunakake.
DELO uga mbandhingake warpage bahan cetakan thermosetting lan produk sing diobati UV ing eksperimen kasebut, lan asile nuduhake yen bahan cetakan khas bakal warp sajrone periode pendinginan sawise thermosetting. Mulane, nggunakake suhu kamar ngobati ultraviolet tinimbang dadi panas nambani bisa nemen nyuda impact saka koefisien expansion termal mismatch antarane senyawa ngecor lan operator, mangkono nyilikake warping kanggo ombone paling bisa.
Panggunaan bahan curing ultraviolet uga bisa nyuda panggunaan pengisi, saéngga nyuda viskositas lan modulus Young. Viskositas model adesif sing digunakake ing tes yaiku 35000 mPa · s, lan modulus Young yaiku 1 GPa. Amarga ora ana pemanasan utawa tekanan dhuwur ing materi cetakan, offset chip bisa diminimalisir kanthi maksimal. Senyawa cetakan khas nduweni viskositas kira-kira 800000 mPa · s lan modulus Young ing sawetara rong digit.
Sakabèhé, riset wis ditampilake sing nggunakake bahan UV cured kanggo ngecor gedhe-wilayah ono gunane kanggo prodhuksi chip pimpinan penggemar metu packaging tingkat wafer, nalika nyilikake warpage lan chip nutup kerugian kanggo ombone paling bisa. Senadyan beda sing signifikan ing koefisien ekspansi termal antarane bahan sing digunakake, proses iki isih akeh aplikasi amarga ora ana variasi suhu. Kajaba iku, perawatan UV uga bisa nyuda wektu perawatan lan konsumsi energi.
UV tinimbang perawatan termal nyuda warpage lan mati shift ing penggemar-metu wafer-tingkat packaging
Perbandhingan wafer sing dilapisi 12 inci nggunakake senyawa pengisi dhuwur (A) sing diobati kanthi termal lan senyawa sing diobati UV (B)
Wektu kirim: Nov-05-2024