Struktur internal peralatan tabung tungku diterangake kanthi rinci

Minangka ditampilake ing ndhuwur, iku khas

Babak pisanan:

▪ Elemen Pemanas (heating coil):

dumunung ing saubengé tabung tungku, biasane digawe saka kabel resistance, digunakake kanggo panas ing njero tabung tungku.

▪ Tabung Kuarsa:

Inti saka tungku oksidasi panas, digawe saka kuarsa kemurnian dhuwur sing bisa tahan suhu dhuwur lan tetep inert kimia.

▪ Pakan Gas:

Dumunung ing sisih ndhuwur utawa sisih tabung tungku, digunakake kanggo ngeterake oksigen utawa gas liyane menyang njero tabung tungku.

▪ SS Flange:

komponen sing nyambungake tabung kuarsa lan garis gas, njamin tightness lan stabilitas sambungan.

▪ Jalur Umpan Gas:

Pipa sing nyambungake MFC menyang port sumber gas kanggo transmisi gas.

▪ MFC (Pengontrol Aliran Massa):

Piranti sing ngontrol aliran gas ing tabung kuarsa kanggo ngatur jumlah gas sing dibutuhake.

▪ Ventilasi:

Digunakake kanggo ngeculake gas exhaust saka njero tabung tungku menyang njaba peralatan.

Bagian ngisor:

▪ Wafer Silicon ing Wadhah:

Wafer silikon diselehake ing Holder khusus kanggo njamin panas seragam sajrone oksidasi.

▪ Wafer Wadhah:

Digunakake kanggo nahan wafer silikon lan mesthekake yen wafer silikon tetep stabil sajrone proses kasebut.

▪ Pedestal:

Struktur sing ngemot wafer silikon, biasane digawe saka bahan tahan suhu dhuwur.

▪ Lift:

Digunakake kanggo ngangkat wafer wafer menyang lan metu saka tabung kuarsa kanggo loading otomatis lan unloading wafer silikon.

▪ Robot Transfer Wafer:

dumunung ing sisih pinggir piranti tabung pawon, digunakake kanggo mbusak wafer silikon kanthi otomatis saka kothak lan nyelehake ing tabung tungku, utawa nyopot sawise diproses.

▪ Carousel Panyimpenan Kaset:

Carousel panyimpenan kaset digunakake kanggo nyimpen kothak ngemot wafer silikon lan bisa diputer kanggo akses robot.

▪ Kaset Wafer:

kaset wafer digunakake kanggo nyimpen lan nransfer wafer silikon kanggo diproses.