Minangka ditampilake ing ndhuwur, iku khas
Babak pisanan:
Elemen Pemanas (heating coil): dumunung ing saubengé tabung tungku, biasane digawe saka kabel resistance, digunakake kanggo panas ing njero tabung tungku.
Tabung Quartz: Inti saka tungku oksidasi panas, digawe saka kuarsa kemurnian dhuwur sing bisa tahan suhu dhuwur lan tetep inert kimia.
Gas Feed: Dumunung ing sisih ndhuwur utawa sisih tabung pawon, digunakake kanggo ngeterake oksigen utawa gas liyane menyang njero tabung tungku.
SS Flange: komponen sing nyambungake tabung kuarsa lan garis gas, njamin tightness lan stabilitas sambungan.
Garis Feed Gas: Pipa sing nyambungake MFC menyang port pasokan gas kanggo transmisi gas.
MFC (Mass Flow Controller): Piranti sing ngontrol aliran gas ing tabung kuarsa kanggo ngatur jumlah gas sing dibutuhake.
Vent: Digunakake kanggo ngeculake gas exhaust saka njero tabung tungku menyang njaba peralatan.
Bagian ngisor
Wafer Silicon ing Holder: Wafer silikon diselehake ing Wadah khusus kanggo njamin panas seragam sajrone oksidasi.
Wafer Holder: Digunakake kanggo nahan wafer silikon lan mesthekake yen wafer silikon tetep stabil sajrone proses kasebut.
Pedestal: Struktur sing ngemot wafer silikon, biasane digawe saka bahan tahan suhu dhuwur.
Elevator: Digunakake kanggo ngangkat wafer wafer menyang lan metu saka tabung kuarsa kanggo loading otomatis lan unloading wafer silikon.
Robot Transfer Wafer: dumunung ing sisih pinggir piranti tabung tungku, digunakake kanggo mbusak wafer silikon kanthi otomatis saka kothak lan dilebokake ing tabung tungku, utawa nyopot sawise diproses.
Carousel Storage Kaset: Carousel panyimpenan kaset digunakake kanggo nyimpen kothak ngemot wafer silikon lan bisa diputer kanggo akses robot.
Wafer Cassette: kaset wafer digunakake kanggo nyimpen lan nransfer wafer silikon sing bakal diproses.
Wektu kirim: Apr-22-2024