前半部 -SiCエピタキシャル装置部品

簡単な説明:

イタリア LPE の SiC エピタキシャル装置用の SiC コーティングされたグラファイト部品

製品紹介と用途 :SiCエピタキシャル装置反応室その他車両部品、温度管理

製品のデバイスの位置: 反応チャンバー内、ウェーハと直接接触しない

主な下流製品：パワーデバイス

主要ターミナル市場: 新エネルギー車