炭化ケイ素でコーティングされたウェーハサセプタディスク

簡単な説明:

VET Energy 炭化ケイ素でコーティングされたウェハ サセプタ ディスクは、長期間にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計された高性能製品です。非常に優れた耐熱性と熱均一性、高純度、耐浸食性を備えており、ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。


製品詳細

製品タグ

炭化ケイ素ウェーハディスクは、さまざまな半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。当社は特許取得済みの技術を使用して、極めて高純度、良好なコーティング均一性、優れた耐用年数、さらには高い耐薬品性と熱安定性を備えた安全な炭化ケイ素ディスクを製造しています。

VET Energy は、SiC、TaC、熱分解炭素、ガラス状カーボンなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。

当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。

F当社製品の特徴:

1. 1700 までの高温耐酸化性.
2.高純度かつ熱均一性
3. 酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する優れた耐食性。
4. 高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性のある

CVD SiC膜の基本物理性能

CVD SiCの基本物性コーティング

性质 / 財産

典型的な数値 / 代表値

結晶構造 / 結晶構造

FCC βフェーズ多結晶、主である(111)取向

密度 / 密度

3.21 g/cm3

硬度 / 硬度

2500维度硬度(500g荷重)

結晶粒大小 / 粒度

2~10μm

/ 化学純度

99.99995%

熱容 / 熱容量

640J・kg-1・K-1

昇华温度 / 昇華温度

2700℃

抗强度 / 曲げ強度

415MPa RT 4点

杨氏模量 / ヤング率

430 Gpa 4pt曲げ、1300℃

导熱系数 / テルマ導電率

300W・m-1・K-1

熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE)

4.5×10-6K-1

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