RTP/RTA用SiCコーティングキャリアは、急速熱処理およびアニーリングと呼ばれる半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。当社は特許技術を使用して、非常に高純度、良好なコーティング均一性、および優れた耐用年数を備えた炭化ケイ素キャリアを製造しています。高い耐薬品性と熱安定性を備えています。
当社製品の特徴:
1. 1700℃までの高温耐酸化性。
2. 高純度、均熱性
3. 酸、アルカリ、塩、有機試薬に対する優れた耐食性。
4. 高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
5. より長い耐用年数とより耐久性のある
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本物性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 代表値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCC βフェーズ多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm3 |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマ私導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VET Energy は、SiC コーティング、TaC コーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどのさまざまなコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカーであり、半導体および太陽光発電産業向けにさまざまなカスタマイズされた部品を供給できます。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から構成されており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。
当社は、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを開発し続けており、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥離しにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。
私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう！
