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製品D説明
炭化ケイ素ウェーハボートは、高温拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして広く使用されています。
利点:
高温耐性:通常使用1800℃
高い熱伝導率:黒鉛材料と同等
高硬度:ダイヤモンドに次ぐ硬度、窒化ホウ素
耐食性:強酸や強アルカリにも腐食せず、耐食性は炭化タングステンやアルミナよりも優れています。
軽量:密度が低く、アルミニウムに近い
変形なし: 低い熱膨張係数
耐熱衝撃性:急激な温度変化に耐え、熱衝撃に強く、安定した性能を発揮します。
SiCの物性
| 財産 | 価値 | 方法 |
| 密度 | 3.21g/cc | 浮き浮きと寸法 |
| 比熱 | 0.66J/g°K | パルスレーザーフラッシュ |
| 曲げ強度 | 450MPa560MPa | 4点曲げ、RT4点曲げ、1300° |
| 破壊靱性 | 2.94MPa・m1/2 | マイクロインデント |
| 硬度 | 2800 | ビッカーズ、500g荷重 |
| 弾性率ヤング率 | 450GPa430GPa | 4 ポイントベンド、RT4 ポイントベンド、1300 °C |
| 粒度 | 2～10μm | SEM |
SiCの熱的性質
| 熱伝導率 | 250W/m°K | レーザーフラッシュ方式、RT |
| 熱膨張 (CTE) | 4.5×10-6°K | 室温～950 °C、シリカ膨張計 |
