コーティング工程の製造における通常のシリコンウェーハのキャリアとして、グラファイトボートは一定の間隔をあけて多数のボートウエハが配置された構造となっており、隣り合うボートウエハの間には非常に狭い空間があり、空いたドアの両側にシリコンウエハが配置されている。
グラファイトボートの材料であるグラファイトは導電性と熱伝導性に優れているため、隣接する2つのボート間に交流電圧を印加して正極と負極を形成します。チャンバー内に特定の気圧とガスが存在すると、2 つのボートの間でグロー放電が発生します。グロー放電は空間内の SiH4 と NH3 ガスを分解し、Si と N イオンを形成し、結合して SiNx 分子を形成することができます。これはシリコンウェーハの表面に堆積され、コーティングの目的を達成します。
太陽電池の反射防止膜のキャリアであるグラファイトボートの構造とサイズは、シリコンウェーハの変換効率や生産効率に直接影響します。長年にわたる技術研究開発を経て、VET Energy は現在、高度な生産設備、成熟した技術設計者、経験豊富な生産スタッフを擁し、原料は輸入原料です。現在、当社が製造するグラファイトボートは高効率という利点があります。構造が簡単で、グラファイトボート間の距離が適度であるため、シリコンウェーハのコーティングが均一になり、シリコンウェーハの品質が向上します。シリコンウェーハ、太陽エネルギーの変換効率を高くします。 VET Energy は、市場が現在必要としているあらゆる種類のインク ボートを取り揃えています。
ソーラーパネル用高純度PECVDグラファイトボート
投稿時間: 2021 年 4 月 8 日