炉心管装置の内部構造を詳しく解説

上に示したように、典型的なものは、

前半:

▪ 発熱体 (加熱コイル) :

炉心管の周囲に配置され、通常は抵抗線でできており、炉心管の内部を加熱するために使用されます。

▪ 石英管:

高温酸化炉のコア。高温に耐え、化学的に不活性を保つ高純度の石英でできています。

▪ ガス供給:

炉心管の上部または側面に位置し、酸素またはその他のガスを炉心管の内側に輸送するために使用されます。

▪ SS フランジ:

石英管とガスラインを接続するコンポーネントで、接続の気密性と安定性を確保します。

▪ ガス供給ライン:

MFCとガス供給口を接続し、ガスを輸送するための配管です。

▪ MFC (マスフローコントローラー) :

石英管内のガスの流れを制御し、必要なガス量を正確に調整する装置。

▪ 通気口:

炉心管内の排ガスを装置外へ排出するために使用します。

下部：

▪ ホルダー内のシリコン ウェーハ:

シリコンウェーハは酸化中の均一な熱を確保するために特別なホルダーに収納されています。

▪ ウェーハホルダー:

シリコンウェーハを保持し、プロセス中にシリコンウェーハが安定した状態を保つために使用されます。

▪ 台座:

シリコン ウェーハ ホルダーを保持する構造。通常は耐高温材料で作られます。

▪ エレベーター:

シリコンウェーハの自動ロードおよびアンロードのためにウェーハホルダーを石英管に出し入れするために使用されます。

▪ ウェーハ搬送ロボット:

炉心管装置の側面にあり、シリコンウェーハをボックスから自動的に取り出して炉心管に入れるか、処理後に取り出すために使用されます。

▪ カセット保管カルーセル:

カセット保管カルーセルは、シリコンウェーハが入ったボックスを保管するために使用され、ロボットがアクセスできるように回転させることができます。

▪ ウェーハカセット:

ウェーハカセットは、処理するシリコンウェーハを保管および搬送するために使用されます。