炉心管装置の内部構造を詳しく解説

上に示したように、典型的なものは、

前半:
発熱体 (加熱コイル) : 炉心管の周囲に配置され、通常は抵抗線でできており、炉心管の内部を加熱するために使用されます。
石英管: 高温酸化炉のコアであり、高温に耐え、化学的に不活性を保つ高純度の石英で作られています。
ガス供給: 炉心管の上部または側面にあり、酸素またはその他のガスを炉心管の内部に輸送するために使用されます。
SS フランジ: 石英管とガスラインを接続し、接続の気密性と安定性を確保するコンポーネント。
ガス供給ライン: MFC とガス供給ポートを接続し、ガスを輸送するためのパイプ。
MFC (マスフローコントローラー) : 石英管内のガスの流れを制御し、必要なガス量を正確に調整する装置。
ベント：炉心管内の排ガスを装置外へ排出するために使用します。

下部
ホルダー内のシリコンウェーハ: シリコンウェーハは、酸化中の均一な熱を確保するために特別なホルダーに収容されています。
ウェーハホルダー: シリコンウェーハを保持し、プロセス中にシリコンウェーハが安定した状態を保つために使用されます。
ペデスタル: シリコン ウェーハ ホルダーを保持する構造。通常は高温耐性のある材料で作られます。
エレベーター: シリコン ウェーハの自動ロードおよびアンロードのためにウェーハ ホルダーを石英管に出し入れするために使用されます。
ウェーハ搬送ロボット: 炉心管装置の側面にあり、シリコンウェーハをボックスから自動的に取り出して炉心管に配置したり、処理後に取り除いたりするために使用されます。
カセット保管カルーセル: カセット保管カルーセルは、シリコンウェーハが入ったボックスを保管するために使用され、ロボットがアクセスできるように回転させることができます。
ウェーハカセット: ウェーハカセットは、処理されるシリコンウェーハを保管および移送するために使用されます。