化学気相成長 (CVD) 薄膜堆積技術の紹介

化学気相成長 (CVD) は、さまざまな機能フィルムや薄層材料の作製によく使用される重要な薄膜堆積技術であり、半導体製造などの分野で広く使用されています。

1. CVDの動作原理

CVD プロセスでは、ガス前駆体 (1 つまたは複数のガス状前駆体化合物) を基板表面に接触させ、特定の温度に加熱して化学反応を引き起こし、基板表面に堆積させて、目的の膜またはコーティングを形成します。層。この化学反応の生成物は固体であり、通常は目的の物質の化合物です。シリコンを表面に貼り付けたい場合は、前駆体ガスとしてトリクロロシラン (SiHCl3) を使用できます。 SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl シリコンは露出した表面 (内部と外部の両方) に結合しますが、塩素と塩酸のガスは結合します。チャンバーから排出される。

2. CVDの分類

熱 CVD: 前駆体ガスを加熱して分解し、基板表面に堆積させます。プラズマ強化 CVD (PECVD): プラズマを熱 CVD に追加して、反応速度を高め、堆積プロセスを制御します。有機金属 CVD (MOCVD): 有機金属化合物を前駆体ガスとして使用すると、金属や半導体の薄膜を作成でき、LED などのデバイスの製造によく使用されます。

3. アプリケーション

(1) 半導体製造

シリサイド膜：絶縁層、基板、分離層などの作製に使用窒化膜：LED、パワーデバイスなどに使用される窒化シリコン、窒化アルミニウムなどの作製に使用金属膜：メタライズされた導電層の作製に使用レイヤーなど

(2) ディスプレイ技術

ITO フィルム: フラットパネルディスプレイやタッチスクリーンに一般的に使用される透明導電性酸化物フィルム。銅フィルム: ディスプレイデバイスの性能を向上させるために、パッケージング層、導電線などを準備するために使用されます。

(3) その他の分野

光学コーティング：反射防止膜、光学フィルターなど防食コーティング：自動車部品、航空宇宙機器などに使用

4. CVDプロセスの特徴

反応速度を促進するために高温環境を使用します。通常は真空環境で行われます。塗装前に部品の表面の汚染物質を除去する必要があります。このプロセスでは、コーティングできる基板に制限、つまり温度制限や反応性制限がある場合があります。 CVD コーティングは、ねじ山、止まり穴、内面を含む部品のすべての領域をカバーします。特定のターゲット領域をマスクする機能が制限される場合があります。フィルムの厚さはプロセスと材料の条件によって制限されます。密着性に優れています。