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半導体シリコンウェーハ用カスタマイズグラファイトヒーター
技術仕様 | VET-M3 |
かさ密度 (g/cm3) | ≥1.85 |
灰分含有量 (PPM) | ≤500 |
ショア硬度 | ≥45 |
比抵抗(μ.Ω.m) | ≤12 |
曲げ強さ(Mpa) | 40以上 |
圧縮強度(Mpa) | 70以上 |
最大。粒径(μm) | ≤43 |
熱膨張係数 Mm/℃ | ≤4.4*10-6
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また、競争の激しい中小企業の中で優位性を維持できるよう、物品管理とQC手法の改善にも特化しており、製錬用丸型穴型グラファイトヒーターの新納入を実現しました。当研究所は現在、「ディーゼルの国立研究所」となっています。エンジンターボテクノロジー」を採用しており、専門の研究開発チームと完全な試験施設を所有しています。
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