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カーボン/カーボンコンポジット（以下「」といいます）C/CまたはCFC」）は、炭素をベースとし、炭素繊維およびその製品（炭素繊維プリフォーム）によって強化された複合材料の一種です。カーボンの慣性力とカーボン繊維の高強度を兼ね備えています。優れた機械的特性、耐熱性、耐食性、摩擦減衰、熱伝導性、導電性特性を備えています。
CVD-SiCコーティングは、均一な構造、緻密な材料、高温耐性、耐酸化性、高純度、酸およびアルカリ耐性、有機試薬の特性を備え、安定した物理的および化学的特性を備えています。
高純度黒鉛材料と比較して、黒鉛は400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失が発生し、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物が増加します。
しかし、SiC コーティングは 1600 度でも物理的および化学的安定性を維持できるため、現代の産業、特に半導体産業で広く使用されています。
当社は、グラファイトやセラミックスなどの材料表面に、炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させ、高純度のSiC分子を得ることで、コーティング材料の表面に分子を堆積させ、CVD法によるSiCコーティング処理サービスを提供しています。 SIC保護層を形成します。形成された SIC はグラファイト ベースにしっかりと結合し、グラファイト ベースに特別な特性を与え、グラファイトの表面を緻密にし、気孔がなく、高温耐性、耐食性、耐酸化性を高めます。
主な特徴：
1. 高温酸化耐性:
1600℃もの高温でも耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度: 高温塩素化条件下での化学蒸着によって製造されます。
3.耐浸食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
4. 耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様:
| SiC-CVD | ||
| 密度 | (g/cc)
| 3.21 |
| 曲げ強度 | (MPa)
| 470 |
| 熱膨張 | (10-6/K) | 4
|
| 熱伝導率 | (W/mK) | 300
|
