応用
グラファイトボートは、高温拡散プロセスにおけるウェーハホルダーとして広く使用されています。
機能要件
1 | 高温強度 |
2 | 高温における化学的安定性 |
3 | 粒子の問題はありません |
説明
1.「カラーレンズ」技術を採用し、長期プロセス中に「カラーレンズ」を確実に使用しないようにします。
2.高純度、低不純物含有量、高強度のSGL輸入グラファイト材料で作られています。
3. セラミックアセンブリには99.9%セラミックを使用しており、強力な耐食性と防錆性を備えています。
4. 精密加工設備を使用し、各部品の精度を確保します。
VET Energy が他の製品よりも優れている理由:
1. 様々な仕様に対応し、カスタマイズ対応も可能です。
2.高品質と短納期。
3. 高温耐性。
4. 高いコストパフォーマンスと競争力
5.長寿命