製品の特徴
· 素晴らしい 高温 パフォーマンス
PyCコーティングは緻密な構造、優れた耐熱性、良好な熱伝導性、耐摩耗性などの特徴を持っています。どちらも炭素元素であるため、黒鉛との接着力が強く、残留揮発分を黒鉛内部に封じ込めることができ、炭素粒子による汚染を防ぎます。
· 制御可能 純度
PyC コーティングの純度は 5ppm のレベルに達し、高純度スプリケーションの純度要件を満たします。
· 拡張された サービス 人生 そして 改善された 製品 q性質
PyC コーティングは、グラファイト部品の耐用年数を効果的に延長し、製品の品質を向上させることができるため、顧客の生産コストを効果的に削減できます。
·広い 範囲 of アプリケーション
PyCコーティングは主にSi/SiC半導体結晶成長、イオン注入、半導体金属精錬、機器分析などの高温分野で使用されます。
製品 仕様
代表的な性能 | ユニット | 仕様 |
結晶構造 | 六角 | |
位置合わせ | 0001 方向に沿った配向または非配向 | |
かさ密度 | g/cm3 | -2.24 |
微細構造 | 多結晶/多層グラフェン | |
硬度 | GPa | 1.1 |
弾性率 | GPa | 10 |
一般的な厚さ | μm | 30~100 |
表面粗さ | μm | 1.5 |
製品の純度 | ppm | ≤5ppm |