vet-china は、次世代の半導体製造向けに設計された最先端の連続ウェーハ ボートを導入します。この細心の注意を払って設計されたボートは、比類のない精度でウェーハを取り扱うことができるため、シームレスな操作が保証され、処理中の損傷のリスクが大幅に軽減されます。
高品質の材料で構築された Contiguous Wafer Boat は、優れた熱安定性と優れた耐薬品性を誇り、高温および過酷な化学環境に最適です。その革新的な設計により、ウェーハが確実に保持され、完全に位置合わせされるため、スループットが最適化され、製造効率が向上します。
この最先端のウェーハボートは、現代の半導体工場の厳しいニーズを満たすように調整されており、さまざまなウェーハサイズと構成をサポートしています。 vet-china の Contiguous Wafer Boat を生産ラインに組み込むことで、パフォーマンスの向上、ダウンタイムの削減、歩留まりの向上が期待できます。
vet-china の品質と革新への取り組みの違いを体験して、半導体製造の限界を押し上げる製品を提供してください。 Contiguous Wafer Boat を選択して、ウエハー処理能力を新たな高みに引き上げます。
再結晶炭化ケイ素の特性
再結晶炭化ケイ素（R-SiC）は、2000℃以上の高温で生成されるダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ高性能素材です。高温強度、強力な耐食性、優れた耐酸化性、優れた耐熱衝撃性など、SiC の多くの優れた特性を保持しています。
●機械的特性に優れています。再結晶炭化ケイ素は炭素繊維よりも強度と剛性が高く、耐衝撃性が高く、極端な温度環境でも優れた性能を発揮し、さまざまな状況で優れたカウンターバランス性能を発揮します。また、柔軟性にも優れており、伸ばしたり曲げたりしても傷みにくいため、性能が大幅に向上します。
●耐食性に優れています。再結晶炭化ケイ素は、さまざまな媒体に対する高い耐食性を持ち、さまざまな腐食性媒体の侵食を防止でき、機械的特性を長期間維持でき、付着力が強いため、耐用年数が長くなります。さらに、熱安定性にも優れており、一定範囲の温度変化に適応し、塗布効果を向上させます。
●焼結により収縮しません。焼結法では収縮しないため、残留応力による変形やクラックが発生せず、複雑な形状の部品を高精度に作製することができます。
| 重結晶炭化硅の物理的特性 再結晶炭化ケイ素の物性 | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 代表値 |
| 使用温度/ 使用温度(℃) | 1600℃（酸素あり）、1700℃（還元雰囲気） |
| SiC含有量/SiC含有量 | > 99.96% |
| 自由Si含有量/ 無料のSiコンテンツ | < 0.1% |
| 体密度/かさ密度 | 2.60～2.70g/cm3 |
| 通気率/ 見かけの気孔率 | < 16% |
| 耐圧強度/ 圧縮強度 | > 600MPa |
| 常温耐弯强度/冷間曲げ強度 | 80～90MPa(20℃) |
| 高温耐性强度熱間曲げ強度 | 90～100MPa(1400℃) |
| 熱膨張胀系数/ 熱膨張 @1500°C | 4.70 10-6/℃ |
| 导熱系数/熱伝導率 @1200°C | 23W/m・K |
| 杨氏模量/ 弾性率 | 240GPa |
| 耐熱震性/ 耐熱衝撃性 | 非常に良い |
VETエネルギーは のCVDコーティングを施したカスタマイズされたグラファイトおよび炭化ケイ素製品の本物のメーカー、供給できる様々な半導体および太陽光発電産業向けにカスタマイズされた部品。 O当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関から来ており、より専門的な材料ソリューションを提供できます。あなたのために。
私たちは、より高度な材料を提供するために高度なプロセスを継続的に開発し、そしては、コーティングと基材の間の結合をより強固にし、剥がれにくくすることができる独自の特許技術を開発しました。
| CVD SiC膜の基本物理性能 CVD SiCの基本物性コーティング | |
| 性质 / 財産 | 典型的な数値 / 代表値 |
| 結晶構造 / 結晶構造 | FCC βフェーズ多結晶、主である（111）取向 |
| 密度 / 密度 | 3.21 g/cm3 |
| 硬度 / 硬度 | 2500维度硬度（500g荷重） |
| 結晶粒大小 / 粒度 | 2～10μm |
| 度 / 化学純度 | 99.99995% |
| 熱容 / 熱容量 | 640J・kg-1・K-1 |
| 昇华温度 / 昇華温度 | 2700℃ |
| 抗强度 / 曲げ強度 | 415MPa RT 4点 |
| 杨氏模量 / ヤング率 | 430 Gpa 4pt曲げ、1300℃ |
| 导熱系数 / テルマ私導電率 | 300W・m-1・K-1 |
| 熱膨張胀系数 / 熱膨張(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
私たちの工場を訪問することを温かく歓迎します、さらなる議論をしましょう！
