Suscettore rivestito in TaC per apparecchiature per epitassia

Breve descrizione:

VET fornisce rivestimenti specializzati in carburo di tantalio (TaC) per vari componenti e supporti. Il processo di rivestimento leader di VET consente ai rivestimenti in carburo di tantalio (TaC) di raggiungere elevata purezza, stabilità alle alte temperature ed elevata tolleranza chimica, migliorando la qualità del prodotto dei cristalli SIC/GAN e degli strati EPI e prolungando la durata dei componenti chiave del reattore. L'uso del rivestimento TaC in carburo di tantalio serve a risolvere il problema dei bordi e migliorare la qualità della crescita dei cristalli, e VET ha risolto in modo rivoluzionario la tecnologia di rivestimento in carburo di tantalio (CVD), raggiungendo il livello avanzato internazionale.

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Rivestito in TaCil substrato è costituito da una pellicola sottilecarburo di tantaliomateriale, che viene applicato alla superficie del substrato dell'apparecchiatura epitassiale.Rivestimento TaCha molte proprietà eccellenti, che lo rendono una scelta ideale.

Il rivestimento TaC è un tipo di rivestimento in carburo di tantalio (TaC) preparato mediante tecnologia di deposizione fisica da vapore, ha le seguenti caratteristiche:

1. Elevata durezza: la durezza del rivestimento TaC è elevata, solitamente può raggiungere 2500-3000 HV, è un eccellente rivestimento duro.

2. Resistenza all'usura: il rivestimento TaC è molto resistente all'usura, il che può ridurre efficacemente l'usura e i danni delle parti meccaniche durante l'uso.

3. Buona resistenza alle alte temperature: il rivestimento TaC può mantenere le sue eccellenti prestazioni anche in ambienti ad alta temperatura.

4. Buona stabilità chimica: il rivestimento TaC ha una buona stabilità chimica e può resistere a molte reazioni chimiche, come acidi e basi.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietà fisiche di TaC rivestimento
密度/ Densità	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissività specifica	0,3
热膨胀系数 / Coefficiente di dilatazione termica	6.310^-6/K
努氏硬度/ Durezza (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Resistenza	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilità termica	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Cambia la dimensione della grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Spessore del rivestimento	Valore tipico ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd è un'impresa high-tech focalizzata sulla produzione e vendita di materiali avanzati di fascia alta, materiali e tecnologie che coprono grafite, carburo di silicio, ceramica, trattamenti superficiali e così via. I prodotti sono ampiamente utilizzati nel fotovoltaico, nei semiconduttori, nelle nuove energie, nella metallurgia, ecc.

Il nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali e può fornirti soluzioni materiali più professionali.

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