Barca/torre per wafer SiC

Immagine in evidenza della barca/torre di wafer SiC

Breve descrizione:

Dettagli del prodotto

Tag dei prodotti

ProdottoDescrizione

I wafer boat in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati come supporti per wafer nel processo di diffusione ad alta temperatura.

Vantaggi:

Resistenza alle alte temperature:uso normale a 1800 ℃

Alta conduttività termica:equivalente al materiale di grafite

Elevata durezza:durezza seconda solo al diamante, nitruro di boro

Resistenza alla corrosione:gli acidi forti e gli alcali non subiscono corrosione, la resistenza alla corrosione è migliore del carburo di tungsteno e dell'allumina

Leggero:bassa densità, vicino all'alluminio

Nessuna deformazione: basso coefficiente di dilatazione termica

Resistenza agli shock termici:può sopportare bruschi sbalzi di temperatura, resistere agli shock termici e avere prestazioni stabili

Proprietà fisiche del SiC

Proprietà	Valore	Metodo
Densità	3,21 g/cc	Galleggiante e dimensioni
Calore specifico	0,66 J/g°K	Flash laser pulsato
Resistenza alla flessione	450 MPa560 MPa	Curva a 4 punti, curva RT4 punti, 1300°
Resistenza alla frattura	2,94MPa·m1/2	Microindentazione
Durezza	2800	Vicker's, carico da 500 g
Modulo elastico Modulo di Young	450 GPa430 GPa	Curvatura 4 pt, curvatura RT4 pt, 1300 °C
Dimensione del grano	2 – 10 µm	SEM

Proprietà termiche del SiC

Conducibilità termica	250 W/m²K	Metodo flash laser, RT
Dilatazione Termica (CTE)	4,5x10-6°K	Temperatura ambiente fino a 950 °C, dilatometro alla silice