La barca professionale China China Sic trasporta wafer di silicio nel tubo del forno di rivestimento a diffusione ad alta temperatura

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ProdottoDescrizione

I wafer boat in carburo di silicio sono ampiamente utilizzati come supporti per wafer nel processo di diffusione ad alta temperatura.

Vantaggi:

Resistenza alle alte temperature:uso normale a 1800 ℃

Alta conduttività termica:equivalente al materiale di grafite

Elevata durezza:durezza seconda solo al diamante, nitruro di boro

Resistenza alla corrosione:gli acidi forti e gli alcali non subiscono corrosione, la resistenza alla corrosione è migliore del carburo di tungsteno e dell'allumina

Leggero:bassa densità, vicino all'alluminio

Nessuna deformazione: basso coefficiente di dilatazione termica

Resistenza agli shock termici:può sopportare bruschi sbalzi di temperatura, resistere agli shock termici e avere prestazioni stabili

 

Proprietà fisiche del SiC

Proprietà Valore Metodo
Densità 3,21 g/cc Galleggiante e dimensioni
Calore specifico 0,66 J/g°K Flash laser pulsato
Resistenza alla flessione 450 MPa560 MPa Curva a 4 punti, curva RT4 punti, 1300°
Resistenza alla frattura 2,94MPa·m1/2 Microindentazione
Durezza 2800 Vicker's, carico da 500 g
Modulo elastico Modulo di Young 450 GPa430 GPa Curvatura 4 pt, curvatura RT4 pt, 1300 °C
Dimensione del grano 2 – 10 µm SEM

 

Proprietà termiche del SiC

Conduttività termica 250 W/m²K Metodo flash laser, RT
Dilatazione Termica (CTE) 4,5x10-6°K Temperatura ambiente fino a 950 °C, dilatometro alla silice

 

 

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