Riscaldatore in grafite personalizzato per wafer di silicio a semiconduttore, rivestimento SiC

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Breve descrizione:

Specifica tecnica	VET-M3
Densità apparente (g/cm3)	≥1,85
Contenuto di ceneri (PPM)	≤500
Durezza Shore	≥45
Resistenza specifica (μ.Ω.m)	≤12
Resistenza alla flessione (Mpa)	≥40
Resistenza alla compressione (Mpa)	≥70
Massimo. Granulometria (μm)	≤43
Coefficiente di dilatazione termica Mm/°C	≤4,4*10-6

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PersonalizzatoRiscaldatore di grafite per wafer di silicio a semiconduttore

Specifica tecnica	VET-M3
Densità apparente (g/cm3)	≥1,85
Contenuto di ceneri (PPM)	≤500
Durezza Shore	≥45
Resistenza specifica (μ.Ω.m)	≤12
Resistenza alla flessione (Mpa)	≥40
Resistenza alla compressione (Mpa)	≥70
Massimo. Granulometria (μm)	≤43
Coefficiente di dilatazione termica Mm/°C	≤4,4*10-6

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