Af hverju beygjast hliðarveggir við þurrætingu?

Ójafnvægi jónaárásar

Þurrtætinguer venjulega ferli sem sameinar eðlisfræðileg og efnafræðileg áhrif, þar sem jónasprengjuárás er mikilvæg eðlisfræðileg ætingaraðferð. Á meðanætingarferli, getur innfallshorn og orkudreifing jóna verið ójöfn.

Ef jónaáfallshornið er mismunandi á mismunandi stöðum á hliðarveggnum, verða ætingaráhrif jóna á hliðarveggnum einnig mismunandi. Á svæðum með stærri innfallshorn jóna eru ætaráhrif jóna á hliðarveggnum sterkari, sem veldur því að hliðarveggurinn á þessu svæði ætast meira, sem veldur því að hliðarveggurinn beygist. Að auki mun ójöfn dreifing jónaorku einnig hafa svipuð áhrif. Jónir með meiri orku geta fjarlægt efni á skilvirkari hátt, sem leiðir til ósamræmisætingugráður hliðarveggsins á mismunandi stöðum, sem aftur veldur því að hliðarveggurinn beygir sig.

Áhrif ljósþols

Photoresist gegnir hlutverki grímu í þurrætingu, verndar svæði sem ekki þarf að etsa. Hins vegar er ljósþolið einnig fyrir áhrifum af sprengjuárásum í plasma og efnahvörfum meðan á ætingarferlinu stendur og árangur hennar getur breyst.

Ef þykkt ljósþolsins er ójöfn, neysluhraði meðan á ætingarferlinu stendur er ósamræmi, eða viðloðunin milli ljósþolsins og undirlagsins er mismunandi á mismunandi stöðum, getur það leitt til ójafnrar verndar hliðarvegganna meðan á ætingarferlinu stendur. Til dæmis geta svæði með þynnri ljósþol eða veikari viðloðun gert undirliggjandi efni auðveldara að æta, sem veldur því að hliðarveggir beygjast á þessum stöðum.

Mismunur á eiginleikum undirlagsefnis

Æta undirlagsefnið sjálft getur haft mismunandi eiginleika, svo sem mismunandi kristalstefnur og lyfjaþéttni á mismunandi svæðum. Þessi munur mun hafa áhrif á ætingarhraða og ætingarvalhæfi.
Til dæmis, í kristölluðu sílikoni, er fyrirkomulag kísilatóma í mismunandi kristalstefnu mismunandi og hvarfgirni þeirra og ætingarhraði með ætargasinu verður einnig mismunandi. Meðan á ætingarferlinu stendur mun mismunandi ætingarhraði sem stafar af mismunandi efniseiginleikum gera ætingardýpt hliðarvegganna á mismunandi stöðum ósamræmi, sem leiðir að lokum til beygjur hliðarveggsins.

Tækjatengdir þættir

Frammistaða og staða ætingarbúnaðarins hefur einnig mikilvæg áhrif á ætingarniðurstöðurnar. Til dæmis geta vandamál eins og ójöfn plasmadreifing í hvarfhólfinu og ójafn rafskautsslit leitt til ójafnrar dreifingar á breytum eins og jónaþéttleika og orku á yfirborði skífunnar við ætingu.

Að auki getur ójöfn hitastýring búnaðarins og smávægilegar sveiflur í gasflæði einnig haft áhrif á einsleitni ætingar, sem leiðir til beygjur hliðar.