Þegar það sæði tilviðskiptafréttir, skilningur á vandvirkni hálfleiðaraframleiðslu er nauðsyn. hálfleiðaraþynnur eru mikilvægur þáttur í þessum iðnaði, en þær verða oft fyrir mengun frá ýmsum óhreinindum. Þessi mengun, ma atóm, lífræn efni, málmþáttarjón og oxíð, geta haft áhrif á framleiðsluferlið.
Agnireins og fjölliða og ætandi óhreinindi treysta á millisameindakraft til að aðsogast á yfirborð skúffunnar, hafa áhrif á ljóslithography tækisins.lífræn óhreinindieins og homo skin olía og vélolía mynda kvikmynd á oblátunni, hindra þrif.málm frumefnisjónireins og járn og ál eru oft fjarlægð með myndun málmþáttar jóna flókna.Oxíðhindra framleiðsluferli og eru venjulega fjarlægðar með því að liggja í bleyti í þynntri flúorsýru.
efnafræðilegar aðferðireru almennt notaðir til að þrífa og kippa hálfleiðara oblátu. rakaefnahreinsunartækni eins og niðursöfnun lausnar og vélrænan skrúbb er ríkjandi. yfirhljóð og megasonic hreinsunaraðferð býður upp á skilvirkar leiðir til að fjarlægja óhreinindi. þurrefnahreinsun, innihalda plasma- og gasfasatækni, gegna einnig hlutverki í hreinsunarferlum fyrir hálfleiðara oblátur.
Birtingartími: 29. október 2024