Helstu hlutverkkísilkarbíðbáturstuðningur og kvarsbátsstuðningur eru þau sömu.Kísilkarbíðbáturstuðningur hefur framúrskarandi árangur en hátt verð. Það er annað samband við kvarsbátastuðning í rafhlöðuvinnslubúnaði með erfiðum vinnuskilyrðum (svo sem LPCVD búnaði og bórdreifingarbúnaði). Í rafhlöðuvinnslubúnaði með venjulegum vinnuskilyrðum, vegna verðsamskipta, verða kísilkarbíð og kvarsbátastuðningur samlífandi og samkeppnisflokkar.
① Staðgengissamband í LPCVD og bórdreifingarbúnaði
LPCVD búnaður er notaður við oxun rafhlöðufrumuganga og undirbúningsferli fyrir dópað pólýkísillag. Vinnuregla:
Undir lágþrýstings andrúmslofti, ásamt viðeigandi hitastigi, næst efnahvörf og útfellingarfilmumyndun til að búa til ofurþunnt göngoxíðlag og pólýkísilfilmu. Í undirbúningsferlinu við oxun og dópað pólýkísillag hefur bátsstuðningurinn hátt vinnuhitastig og kísilfilma verður sett á yfirborðið. Hitastækkunarstuðull kvarss er töluvert frábrugðinn kísil. Þegar það er notað í ofangreindu ferli er nauðsynlegt að súrsa reglulega og fjarlægja kísillinn sem settur er á yfirborðið til að koma í veg fyrir að kvarsbátsstuðningurinn brotni vegna varmaþenslu og samdráttar vegna mismunandi varmaþenslustuðuls frá kísil. Vegna tíðrar súrsunar og lágs háhitastyrks hefur kvarsbátahaldarinn stuttan líftíma og er oft skipt út í gangnaoxunarferlinu og dópuðu pólýkísillagsframleiðsluferlinu, sem eykur verulega framleiðslukostnað rafhlöðunnar. Stækkunarstuðullinn ákísilkarbíðer nálægt því sem kísil. Hin samþættakísilkarbíðbáturhandhafi þarf ekki súrsun í gangnaoxunar- og dópað pólýkísillags undirbúningsferli. Það hefur háan háhitastyrk og langan endingartíma. Það er góður valkostur við kvarsbátahafann.
Bórstækkunarbúnaður er aðallega notaður til að dópa bórþætti á N-gerð kísilskúffu undirlags rafhlöðufrumunnar til að undirbúa P-gerð sendanda til að mynda PN mótum. Vinnureglan er að átta sig á efnahvörfum og myndun sameindaútfellingar í háhitalofti. Eftir að kvikmyndin er mynduð er hægt að dreifa henni með háhitahitun til að átta sig á lyfjamisnotkun yfirborðs kísilskífunnar. Vegna mikils vinnuhita bórstækkunarbúnaðarins hefur kvarsbátahaldarinn lágan háhitastyrk og stuttan endingartíma í bórstækkunarbúnaðinum. Hin samþættakísilkarbíðbáturhandhafi hefur háhitastyrk og er góður valkostur við kvarsbátahaldara í bórþensluferlinu.
② Staðgengissamband í öðrum vinnslubúnaði
SiC bátastoðir hafa þétta framleiðslugetu og framúrskarandi frammistöðu. Verðlagning þeirra er almennt hærra en á kvarsbátastuðningi. Í almennum vinnuskilyrðum frumuvinnslubúnaðar er munurinn á endingartíma milli SiC bátastuðnings og kvarsbátastuðnings lítill. Eftirfarandi viðskiptavinir bera aðallega saman og velja á milli verðs og frammistöðu út frá eigin ferlum og þörfum. SiC bátastuðningur og kvarsbátastuðningur eru orðinn samhliða og samkeppnishæfur. Hins vegar er framlegð SiC-bátastuðnings tiltölulega há um þessar mundir. Með lækkun á framleiðslukostnaði SiC bátastoða, ef söluverð SiC bátastoða lækkar virkan, mun það einnig valda meiri samkeppnishæfni kvarsbátastoða.
Notkunarhlutfall
Frumutæknileiðin er aðallega PERC tækni og TOPCon tækni. Markaðshlutdeild PERC tækni er 88% og markaðshlutdeild TOPCon tækni er 8,3%. Samanlögð markaðshlutdeild þeirra tveggja er 96,30%.
Eins og sést á myndinni hér að neðan:
Í PERC tækni er þörf á bátastuðningi fyrir fosfórdreifingu að framan og glæðingarferli. Í TOPCon tækni er þörf á bátastuðningi fyrir bórdreifingu að framan, LPCVD, fosfórdreifingu að aftan og glæðingarferli. Sem stendur eru kísilkarbíðbátastoðir aðallega notaðar í LPCVD ferli TOPCon tækni, og notkun þeirra í bórdreifingarferlinu hefur aðallega verið sannreynd.
Mynd Notkun bátastuðnings í frumuvinnsluferlinu
Athugið: Eftir fram- og bakhúð á PERC og TOPCon tækni eru enn hlekkir eins og skjáprentun, sintrun og prófun og flokkun, sem fela ekki í sér notkun bátastuðnings og eru ekki skráðir á myndinni hér að ofan.
Pósttími: 15. október 2024