Kísilkarbíðhúðaður grafítnemi fyrir LED ætingu

Stutt lýsing:

Kísilkarbíð susceptor fyrir LED ætingu (SiC bakki) er sérstakur aukabúnaður fyrir djúpa kísil ætingu (ICP ets vél). obláta burðarefni, einnig þekkt sem obláta burðarefni, sílikon obláta burðarefni, einnig þekkt sem vasa obláta. Mikið notað í hálfleiðurum CVD og lofttæmandi sputtering.


Upplýsingar um vöru

Vörumerki

Kísilkarbíð húðaður susceptor era lykillíhlutur sem notaður er í ýmsum hálfleiðara framleiðsluferlum.Við notum einkaleyfistæknina okkar til að búa til kísilkarbíðhúðaða susceptor meðmjög hár hreinleiki,gotthúðuneinsleitniog framúrskarandi endingartíma, sem oghár efnaþol og hitastöðugleikaeiginleikar.

VET Energy er theraunverulegur framleiðandi sérsniðinna grafít- og kísilkarbíðvara með CVD húðun,getur útvegaðýmislegtsérsniðnir hlutar fyrir hálfleiðara og ljósvakaiðnað. OTækniteymið þitt kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum, getur veitt faglegri efnislausnirfyrir þig.

Við þróum stöðugt háþróaða ferla til að veita fullkomnari efni,oghafa þróað einkaleyfisbundna tækni sem getur gert tengingu milli húðunar og undirlags þéttari og minna tilhneigingu til að losna.

Feiginleikar vara okkar:

1. Oxunarþol við háan hita allt að 1700.
2. Hár hreinleiki oghitauppstreymi einsleitni
3. Framúrskarandi tæringarþol: sýra, basa, salt og lífræn hvarfefni.
4. Hár hörku, samningur yfirborð, fínar agnir.
5. Lengri endingartími og endingargóðari

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundvallar eðliseiginleikar CVD SiChúðun

性质 / Eign

典型数值 / Dæmigert gildi

晶体结构 / Kristallsbygging

FCC β fasi多晶,主要为(111)取向

密度 / Þéttleiki

3,21 g/cm³

硬度 / hörku

2500 维氏硬度(500g álag)

晶粒大小 / Kornastærð

2~10μm

纯度 / Chemical Purity

99,99995%

热容 / Hitageta

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimation Hitastig

2700 ℃

抗弯强度 / Beygjustyrkur

415 MPa RT 4 punkta

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt beygja, 1300 ℃

导热系数 / ThermalLeiðni

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Hitastækkun (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Verið hjartanlega velkomin að heimsækja verksmiðjuna okkar, við skulum hafa frekari umræður!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Fyrri:
  • Næst:

  • WhatsApp netspjall!