Epitaxial Epi Graphite Barrel susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel susceptorer sérhannað stuðnings- og upphitunartæki sem notað er til að halda og hita undirlag hálfleiðara við framleiðsluferla eins og útfellingu eða epitaxy ferli.
Uppbygging þess inniheldur venjulega sívalur eða örlítið tunnulaga, yfirborð er með marga vasa eða palla til að setja obláturnar, getur verið solid eða hol hönnun, allt eftir upphitunaraðferðinni.
Helstu hlutverk epitaxial tunnu susceptor:
-Stuðningur undirlags: heldur mörgum hálfleiðurum á öruggan hátt;
-Hitagjafi: veitir háan hita sem þarf til vaxtar með upphitun;
-Hitastig einsleitni: tryggir jafna upphitun undirlags;
-Snúningur: snýst venjulega meðan á vexti stendur til að bæta hitastig og gasdreifingu einsleitni.
Vinnuregla Epi grafít tunnu susceptor:
- Í þekjuhvarfakljúfnum er tunnuþolinn hitaður að tilskildu hitastigi (venjulega 1000 ℃-1200 ℃ fyrir kísilhúð);
-Tunnuþolinn snýst til að tryggja jafna hitadreifingu og gasflæði;
-Hvarflofttegundir brotna niður við háan hita og mynda epitaxial lög á yfirborði undirlagsins.
Umsóknir:
-Aðallega notað fyrir kísilþekjuvöxt
-Einnig á við um epitaxy annarra hálfleiðaraefna eins og GaAs, InP, osfrv.
VET Energy notar háhreint grafít með CVD-SiC húðun til að auka efnafræðilegan stöðugleika:
Kostir VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel susceptor:
-Hátt hitastig stöðugleiki;
-Góð varma einsleitni;
-Getur unnið mörg hvarfefni samtímis, bætt framleiðslu skilvirkni;
-Efnafræðilega óvirk, viðheldur háhreinu vaxtarumhverfi.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er hátæknifyrirtæki sem einbeitir sér að framleiðslu og sölu háþróaðra efna, efna og tækni þar á meðal grafít, kísilkarbíð, keramik, yfirborðsmeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndu kolefni. húðun, pyrolytic kolefnishúð, osfrv., Þessar vörur eru mikið notaðar í ljósvökva, hálfleiðara, nýrri orku, málmvinnslu osfrv.
Tækniteymi okkar kemur frá efstu innlendum rannsóknarstofnunum og hefur þróað marga einkaleyfisbundna tækni til að tryggja frammistöðu vöru og gæði, getur einnig veitt viðskiptavinum faglegar efnislausnir.
Við bjóðum þig hjartanlega velkominn að heimsækja rannsóknarstofuna okkar og verksmiðju fyrir tæknilega umræðu og samvinnu!
