Eiginleikar vöru
· Frábært háhitastig frammistöðu
PyC húðun hefur eiginleika þéttrar byggingar, framúrskarandi hitaþols, góðrar hitaleiðni og slitþols. Þar sem báðir eru kolefnisþættir hefur það sterka viðloðun við grafít og getur lokað rokgjörnum leifum inni í grafítinu til að koma í veg fyrir mengun frá kolefnisagnum.
· Stjórnanleg hreinleika
Hreinleiki PyC húðunar getur náð 5 ppm, sem uppfyllir hreinleikakröfur háhreinleika spplications.
· Framlengdur þjónustu lífið og bætt vöru qeiginleiki
PyC húðun getur á áhrifaríkan hátt lengt endingartíma grafítíhluta og bætt vörugæði og dregur þannig úr framleiðslukostnaði viðskiptavina.
·Breiður svið of umsóknir
PyC húðun er aðallega notuð á háhitasviðum eins og Si/SiC hálfleiðara kristalvexti, jónaígræðslu, málmbræðslu fyrir hálfleiðara og tækjagreiningu.
Öll gögn eru dæmigerð gildi, ekki tryggð í neinum sérstökum tilgangi. Við áskiljum okkur rétt til að breyta skráðum gögnum fyrir þetta efni vegna tæknilegra uppfærslna, án frekari fyrirvara.
Vara Tæknilýsing
| Dæmigert árangur | Eining | Forskrift |
| Kristal uppbygging | Sexhyrndur | |
| Jöfnun | Stefnumótað eða óstillt eftir 0001 stefnu | |
| Magnþéttleiki | g/cm³ | -2.24 |
| Örbygging | Pólýkristallað/stökkbreytt grafen | |
| hörku | GPa | 1.1 |
| Teygjustuðull | GPa | 10 |
| Dæmigert þykkt | μm | 30-100 |
| Grófleiki yfirborðs | μm | 1.5 |
| Hreinleiki vöru | ppm | ≤5 ppm |
