PECVD Graphite Wafer Nkwado

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ezubere maka nkenke na arụmọrụ, VET Energy's Graphite Wafer Nkwado bụ ihe kacha mma maka iji na nhazi wafer dị elu, ebe nkwụsi ike dị elu na arụmọrụ na-agbanwe agbanwe dị oke mkpa. Ma ị na-arụ ọrụ na semiconductor wafers ma ọ bụ ihe ndị ọzọ siri ike, nkwado graphite a dị elu ga-eme ka ntụkwasị obi usoro gị na àgwà ngwaahịa gị dịkwuo mma, na-eme ka ọ bụrụ ihe dị mkpa maka ịmepụta ọgbara ọhụrụ.

Zitere anyị email Budata dị ka PDF

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

VET Energy PECVD usoro graphite wafer nkwado bụ isi ihe eji eme ya maka PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Emere ngwaahịa a nke ịdị ọcha dị elu, ihe graphite dị elu, nke nwere oke okpomọkụ dị elu, nguzogide corrosion, nkwụsi ike akụkụ na njirimara ndị ọzọ, nwere ike inye usoro nkwado kwụsiri ike maka usoro PECVD, iji hụ na ịdị n'otu na ịdị larịị nke ntinye ihe nkiri.

The "graphite support" imewe nke VET Energy graphite wafer nkwado nwere ike ọ bụghị nanị na-akwado nke ọma wafer, ma na-enye thermal nkwụsi ike na elu okpomọkụ na elu nrụgide PECVD gburugburu ebe obibi iji hụ na nkwụsi ike nke usoro.

Nkwado VET Energy PECVD usoro graphite wafer nwere njirimara ndị a:

▪Ịdị ọcha dị elu:ọdịnaya adịghị ọcha dị oke ala, zere mmetọ nke ihe nkiri ahụ, iji hụ na ihe nkiri ahụ dị mma.

▪Njupụta dị elu:elu njupụta, elu n'ibu ike, nwere ike idi elu okpomọkụ na elu nrụgide PECVD gburugburu ebe obibi.

▪Nkwụsi ike akụkụ dị mma:obere mgbanwe mgbanwe na oke okpomọkụ iji hụ na nkwụsi ike nke usoro ahụ.

▪Ezigbo okpomọkụ conductivity:nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie ikpo ọkụ wafer.

▪Nguzogide corrosion siri ike:Nwere ike iguzogide mbuze site na gas dị iche iche na-emebi emebi na plasma.

▪Ọrụ ahaziri ahazi:Enwere ike ịhazi tebụl nkwado eserese nke nha na ụdị dị iche iche dịka mkpa ndị ahịa si dị.

Ihe eserese si na SGL:

Oke oke: R6510
Index	Nlele ọkọlọtọ	Uru	Nkeji
Nkezi nha ọka	ISO 13320	10	μm
Nnukwu njupụta	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Mepee porosity	DIN66133	10	%
Ogo pore ọkara	DIN66133	1.8	μm
Nkwenye	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hardness HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specific eletriki resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ike mgbanwe	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ike mkpakọ	DIN 51910	130	MPa
modul nke ntorobịa	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Mgbasa ọkụ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Nrụpụta ọkụ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Emebere ya kpọmkwem maka nrụpụta cell cell dị elu nke ọma, na-akwado G12 nnukwu nhazi wafer. Nhazi ụgbọelu emebere nke ọma na-abawanye mmepụta nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mkpụrụ dị elu na ọnụ ahịa mmepụta dị ala.

Ihe	Ụdị	Onye na-ebu wafer nọmba
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156	156-13 grephite ụgbọ mmiri	144
	156-19 grephite ụgbọ mmiri	216
	156-21 grephite ụgbọ mmiri	240
	156-23 ụgbọ mmiri graphite	308
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 125	125-15 grephite ụgbọ mmiri	196
	125-19 grephite ụgbọ mmiri	252
	125-21 grphite ụgbọ mmiri	280