Dị ka ndị na-ebu nke nkịtị silicon wafers na mmepụta nke mkpuchi usoro, naụgbọ mmiri graphitenwere ọtụtụ wafers ụgbọ mmiri nwere oge ụfọdụ na nhazi ahụ, na enwere ohere dị warara n'etiti ụgbọ mmiri abụọ dị n'akụkụ, a na-etinyekwa silicon wafers n'akụkụ abụọ nke ọnụ ụzọ efu.
N'ihi na graphite, ihe nke ụgbọ mmiri graphite, nwere ezigbo conductivity na thermal conductivity, a na-etinye voltaji AC n'etiti ụgbọ mmiri abụọ dị n'akụkụ iji mepụta electrodes dị mma na nke na-adịghị mma. Mgbe enwere ụfọdụ nrụgide ikuku na gas n'ime ụlọ ahụ, ihe na-egbuke egbuke na-apụta n'etiti ụgbọ mmiri abụọ ahụ. Ngwunye na-egbuke egbuke nwere ike imebi SiH4 na NH3 gas na oghere, na-emepụta ions Si na N, ma jikọta na-emepụta mkpụrụ ndụ SiNx A na-echekwa ya n'elu silicon wafer iji nweta nzube nke mkpuchi.
Dị ka onye na-ebu ihe mkpuchi anwụ cell antireflection, nhazi na nha ụgbọ mmiri graphite na-emetụta kpọmkwem ngbanwe arụmọrụ na mmepụta mmepụta nke silicon wafer. Ka ọtụtụ afọ nke nyocha teknụzụ na mmepe gasịrị, VET Energy nwere ugbu a akụrụngwa mmepụta dị elu, ndị na-emepụta teknụzụ tozuru oke na ndị ọrụ mmepụta nwere ahụmahụ, na ihe ndị a na-ebubata akụrụngwa. Ka ọ dị ugbu a, ụgbọ mmiri graphite nke ụlọ ọrụ anyị na-arụ nwere uru nke ịrụ ọrụ dị elu Ihe nhazi ahụ dị mfe na ebe dị anya n'etiti ụgbọ mmiri graphite bụ ihe ezi uche dị na ya, nke na-eme ka mkpuchi nke silicon wafer edo, na-eme ka mma dị mma.silicon wafer, na-eme ka ike anyanwụ na-agbanwe arụmọrụ dị elu. VET Energy nwere ụdị ụgbọ mmiri ink niile nke ahịa chọrọ ugbu a.
Ụgbọ mmiri eserese PECVD dị ọcha maka ogwe anyanwụ
Oge nzipu: Eprel-08-2021