Uru nke nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide tụnyere nkwado ụgbọ mmiri quartz

Isi ọrụ nkeụgbọ mmiri silicon carbidenkwado na nkwado ụgbọ mmiri quartz bụ otu.Ụgbọ mmiri silicon carbidenkwado nwere ọmarịcha arụmọrụ mana ọnụahịa dị elu. Ọ mebere mmekọrịta ọzọ na nkwado ụgbọ mmiri quartz na akụrụngwa nhazi batrị nwere ọnọdụ arụ ọrụ siri ike (dịka akụrụngwa LPCVD na akụrụngwa mgbasa boron). N'ime akụrụngwa nhazi batrị nwere ọnọdụ ọrụ nkịtị, n'ihi mmekọrịta ọnụahịa, nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide na quartz na-aghọ otu ọnụ na ụdị asọmpi.

① Mmekọrịta ngbanwe na LPCVD na akụrụngwa mgbasa ozi boron

A na-eji akụrụngwa LPCVD maka oxidation cell cell tunneling yana usoro nkwadebe polysilicon oyi akwa doped. Ụkpụrụ ọrụ:

N'okpuru ikuku ikuku dị ala, jikọtara ya na okpomọkụ kwesịrị ekwesị, mmeghachi omume kemịkalụ na nhazi ihe nkiri na-enweta iji dozie oyi akwa oxide ultra-thinth tunneling na polysilicon film. Na tunneling oxidation na doped polysilicon Layer nkwadebe usoro, nkwado ụgbọ mmiri nwere okpomọkụ na-arụ ọrụ dị elu na a ga-edobe ihe nkiri silicon n'elu. Ọnụ ọgụgụ mgbasawanye ọkụ nke quartz dị nnọọ iche na nke silicon. Mgbe ejiri ya mee ihe na usoro dị n'elu, ọ dị mkpa ịkwanye mgbe niile ma wepụ silicon ahụ a na-etinye n'elu iji gbochie nkwado ụgbọ mmiri quartz ka ọ ghara imebi n'ihi mgbasawanye ọkụ na nkwekọrịta n'ihi ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị iche iche sitere na silicon. N'ihi pickling ugboro ugboro na obere okpomọkụ dị ala, onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz nwere ndụ dị mkpirikpi ma na-edochi ya anya na ọwara oxidation na doped polysilicon Layer usoro nkwadebe, nke na-abawanye ọnụ ahịa mmepụta nke cell batrị. Ọnụ ọgụgụ mgbasawanye nkesilicon carbidedị nso na nke silicon. Ihe agbakwunyereụgbọ mmiri silicon carbidenjide anaghị achọ pickling na ọwara oxidation na doped polysilicon oyi akwa usoro. Ọ nwere nnukwu ike okpomọkụ na ogologo ndụ ọrụ. Ọ bụ ezigbo nhọrọ maka onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz.

A na-ejikarị akụrụngwa mgbasa ozi boron maka usoro nke doping boron element na ụdị N-ụdị silicon wafer nke cell batrị iji dozie ụdị P-emitter iji mepụta njikọ PN. Ụkpụrụ na-arụ ọrụ bụ ịghọta mmeghachi omume kemịkalụ na nhazi ihe nkiri ihe nkiri molekụla n'ime ikuku dị elu. Mgbe emechara ihe nkiri ahụ, enwere ike ịgbasa ya site na ikpo ọkụ dị elu iji ghọta ọrụ doping nke elu silicon wafer. N'ihi oke okpomọkụ na-arụ ọrụ nke ngwá ọrụ mgbasa ozi boron, onye na-ejide ụgbọ mmiri quartz nwere obere okpomọkụ dị elu na ndụ dị mkpirikpi na ngwa mgbasawanye boron. Ihe agbakwunyereụgbọ mmiri silicon carbideonye na-ejide ya nwere ike dị elu dị elu ma bụrụ ezigbo ihe ọzọ na-eji ụgbọ mmiri quartz na usoro mgbasawanye boron.

② Mmekọrịta ngbanwe na akụrụngwa usoro ndị ọzọ

Nkwado ụgbọ mmiri SiC nwere ikike nrụpụta siri ike yana arụmọrụ dị mma. Ọnụ ahịa ha na-adịkarị elu karịa nke nkwado ụgbọ mmiri quartz. N'ozuzu ọnọdụ ọrụ nke akụrụngwa nhazi cell, ọdịiche dị na ndụ ọrụ n'etiti nkwado ụgbọ mmiri SiC na nkwado ụgbọ mmiri quartz dị obere. Ndị ahịa n'okpuru ala na-atụnyere ma họrọ n'etiti ọnụahịa na arụmọrụ dabere na usoro na mkpa nke ha. Nkwado ụgbọ mmiri SiC na nkwado ụgbọ mmiri quartz aghọọla ọnụ na asọmpi. Agbanyeghị, oke uru nkwado ụgbọ mmiri SiC dị elu ugbu a. Na mbelata nke mmepụta ego nke ụgbọ mmiri SiC na-akwado, ọ bụrụ na ọnụahịa ire ere nke ụgbọ mmiri SiC na-akwado nke ọma, ọ ga-ebutekwa asọmpi ka ukwuu na nkwado ụgbọ mmiri quartz.

Oke ojiji

Ụzọ teknụzụ cell bụ tumadi teknụzụ PERC na teknụzụ TOPCon. Oke ahịa nke teknụzụ PERC bụ 88%, na oke ahịa nke teknụzụ TOPCon bụ 8.3%. Njikọ ahịa ahịa nke abụọ bụ 96.30%.

Dị ka e gosiri na foto dị n'okpuru:

Na teknụzụ PERC, a chọrọ nkwado ụgbọ mmiri maka mgbasa ozi nke ihu na usoro mgbakasị ahụ. Na teknụzụ TOPCon, a chọrọ nkwado ụgbọ mmiri maka mgbasa boron n'ihu, LPCVD, mgbasa ozi azụ azụ na usoro mgbakasị ahụ. Ka ọ dị ugbu a, a na-ejikarị nkwado ụgbọ mmiri silicon carbide na usoro LPCVD nke teknụzụ TOPCon, yana ngwa ha na usoro mgbasa ozi boron ka akwadoro nke ọma.

Ihe atụ Ngwa nke ụgbọ mmiri na-akwado na usoro nhazi cell

Rịba ama: Mgbe mkpuchi ihu na azụ nke teknụzụ PERC na TOPCon, a ka nwere njikọ dị ka mbipụta ihuenyo, sintering na ule na nhazi, nke na-adịghị agụnye iji nkwado ụgbọ mmiri na-edeghị ya na ọnụ ọgụgụ dị n'elu.