Ihe njide mkpụrụ ihe eserese maka PECVD

Nkọwa dị mkpirikpi:

Emebere VET Energy's Graphite Substrate Holder ka ọ na-edobe nhazi na nkwụsi ike n'oge usoro PECVD, na-egbochi mmetọ yana ibelata ihe ize ndụ nke mmebi. Ihe njide Wafer Graphite na-enye nchekwa, ọbụlagodi ikpo okwu, na-ahụ na a na-ekpughere wafers nke ọma na plasma maka ntinye na-agbanwe agbanwe na nke dị elu. Site na njikwa okpomọkụ dị elu na ike pụrụ iche, ihe njide a na-enyere aka melite arụmọrụ usoro na arụmọrụ ngwaahịa.

Zitere anyị email Budata dị ka PDF

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder bụ ezigbo ụgbọ ebu emebere maka usoro PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ihe njide ihe eji emepụta Graphite a dị elu bụ nke ịdị ọcha dị elu, ihe graphite nwere njupụta dị elu, nke nwere oke okpomọkụ dị elu, nguzogide corrosion, nkwụsi ike akụkụ na njirimara ndị ọzọ. Ọ nwere ike ịnye usoro nkwado kwụsiri ike maka usoro PECVD ma hụ na ịdị n'otu na ịdị larịị nke ntinye ihe nkiri.

Tebụl nkwado VET Energy PECVD graphite wafer nwere njirimara ndị a:

▪Ịdị ọcha dị elu:ọdịnaya adịghị ọcha dị oke ala, zere mmetọ nke ihe nkiri, hụ na ịdị mma ihe nkiri.

▪Njupụta dị elu:elu njupụta, elu n'ibu ike, nwere ike idi elu okpomọkụ na elu nrụgide PECVD gburugburu ebe obibi.

▪Nkwụsi ike akụkụ dị mma:obere mgbanwe mgbanwe na oke okpomọkụ, na-eme ka usoro nkwụsi ike.

▪Ezigbo okpomọkụ conductivity:nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie ikpo ọkụ wafer.

▪Nguzogide corrosion siri ike:nwere ike iguzogide mbuze site na gas dị iche iche na-emebi emebi na plasma.

▪Ọrụ ahaziri ahazi:Enwere ike ịhazi tebụl nkwado graphite nke nha na ụdị dị iche iche dịka mkpa ndị ahịa si dị.

Uru ngwaahịa

▪Melite ogo ihe nkiri:Gbaa mbọ hụ na etinyere ihe nkiri otu ma kwalite ogo ihe nkiri.

▪Gbatịkwuo ndụ akụrụngwa:Nguzogide corrosion mara mma, gbasaa ndụ ọrụ nke akụrụngwa PECVD.

▪Belata ụgwọ nrụpụta:Traịs graphite dị elu nwere ike ibelata ọnụ ahịa mkpofu ma belata ọnụ ahịa mmepụta.

Ihe eserese si na SGL:

Oke oke: R6510
Index	Nlele ọkọlọtọ	Uru	Nkeji
Nkezi nha ọka	ISO 13320	10	μm
Nnukwu njupụta	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Mepee porosity	DIN66133	10	%
Ogo pore ọkara	DIN66133	1.8	μm
Nkwenye	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hardness HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specific eletriki resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ike mgbanwe	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ike mkpakọ	DIN 51910	130	MPa
modul nke ntorobịa	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Mgbasa ọkụ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Nrụpụta ọkụ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Emebere ya kpọmkwem maka nrụpụta cell cell dị elu nke ọma, na-akwado G12 nnukwu nhazi wafer. Nhazi ụgbọelu emebere nke ọma na-abawanye mmepụta nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mkpụrụ dị elu na ọnụ ahịa mmepụta dị ala.

Ihe	Ụdị	Onye na-ebu wafer nọmba
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156	156-13 grephite ụgbọ mmiri	144
	156-19 grephite ụgbọ mmiri	216
	156-21 grephite ụgbọ mmiri	240
	156-23 ụgbọ mmiri graphite	308
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 125	125-15 grephite ụgbọ mmiri	196
	125-19 grephite ụgbọ mmiri	252
	125-21 grphite ụgbọ mmiri	280