Lapisan SiC/Substrat Grafit Dilapisi/Baki untuk Semikonduktor

Deskripsi Singkat:

Susceptor Grafit Berlapis SiC Energi VET untuk Pertumbuhan Epitaxial adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Ia memiliki ketahanan panas yang sangat baik dan keseragaman termal, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


Detail Produk

Label Produk

Pelapisan SiC/pelapisan suseptor Grafit untuk Semikonduktor
 
ItuSubstrat Grafit Dilapisi SiCadalah solusi yang sangat tahan lama dan efisien yang dirancang untuk memenuhi tuntutan ketat industri pemrosesan semikonduktor. Menampilkan lapisan kemurnian tinggilapisan silikon karbida (SiC)., substrat ini memberikan stabilitas termal yang luar biasa, ketahanan oksidasi, dan masa pakai yang lama, menjadikannya ideal untuk aplikasi dalam proses MOCVD, pembawa wafer grafit, dan lingkungan bersuhu tinggi lainnya.

 Fitur: 
· Ketahanan Guncangan Termal yang Sangat Baik
· Ketahanan Guncangan Fisik Yang Sangat Baik
· Ketahanan Kimia Yang Sangat Baik
· Kemurnian Super Tinggi
· Ketersediaan dalam Bentuk Kompleks
·Dapat digunakan di bawah Suasana Oksidasi

Aplikasi:

3

Fitur dan Keunggulan Produk:

1. Ketahanan Termal Unggul:Dengan kemurnian tinggilapisan SiC, media tahan terhadap suhu ekstrem, memastikan kinerja yang konsisten dalam lingkungan yang menuntut seperti fabrikasi epitaksi dan semikonduktor.

2. Peningkatan Daya Tahan:Komponen grafit berlapis SiC dirancang untuk menahan korosi dan oksidasi kimia, sehingga meningkatkan umur substrat dibandingkan dengan substrat grafit standar.

3. Grafit Dilapisi Vitreous:Struktur vitreous yang unik darilapisan SiCmemberikan kekerasan permukaan yang sangat baik, meminimalkan keausan selama pemrosesan suhu tinggi.

4. Lapisan SiC Kemurnian Tinggi:Substrat kami memastikan kontaminasi minimal dalam proses semikonduktor sensitif, menawarkan keandalan bagi industri yang memerlukan kemurnian material yang ketat.

5. Aplikasi Pasar Luas:ItuSuseptor grafit berlapis SiCpasar terus tumbuh seiring dengan meningkatnya permintaan akan produk berlapis SiC canggih dalam manufaktur semikonduktor, memposisikan substrat ini sebagai pemain kunci di pasar pembawa wafer grafit dan pasar baki grafit berlapis silikon karbida.

Sifat Khas Bahan Grafit Dasar:

Kepadatan Tampak: 1,85 gram/cm3
Resistivitas Listrik: 11 μΩm
Kekuatan Lentur: 49MPa (500kgf/cm2)
Kekerasan Pantai: 58
Abu: <5ppm
Konduktivitas Termal: 116 W/mK (100 kkal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dasar CVD SiClapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / Kepadatan

3,21 gram/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(beban 500g)

晶粒大小 / Ukuran Butir

2~10μm

纯度 / Kemurnian Kimia

99,99995%

热容 / Kapasitas Panas

640J·kg-1·K-1

升华温度 / Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 / Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4 titik

杨氏模量 / Modulus Muda

tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / Konduktivitas Termal

300W·m-1·K-1

Ekspansi Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

 

VET Energy adalah produsen nyata produk grafit dan silikon karbida khusus dengan lapisan berbeda seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, dll., dapat memasok berbagai suku cadang khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat memberikan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat menjadi lebih erat dan tidak mudah terkelupas.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Daring WhatsApp!